中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP Poly #9215552 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPポリエッチャー/アッシャーは、デバイスの歩留まりと計算能力を向上させるために設計された高速ポリシリコンエッチャー/アッシャーです。特に、半導体チップのポリシリコンエッチングの均一性を高め、スループットを向上させるように設計されています。AMAT P5000 MxP Poly etcher/asherは、メーカーがデバイスの歩留まりコストを削減し、絶えず変化する半導体チップの風景に追いつくことを可能にする強力なツールです。応用材料P5000 MXP+POLYエッチャー/アッシャーは、化学、熱および反応種を使用して、制御された方法でポリシリコンを迅速にエッチングします。ガスデリバリーを精密に制御できるケミカルデリバリー装置を内蔵し、ポリシリコンエッチングに最適な環境を提供します。MxPポリエッチャー/アッシャーP5000、デュアルチャンバー処理を備えており、両面フィルムのエッチングを容易にします。エッチャー/アッシャーは、単一のチャンバーモードで使用することができ、高解像度および均一なエッチングのためにフィルムの片側を他方から分離することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MXP+POLY etcher/Asherは、圧力、温度、およびその他のパラメータを動的に調整して、プロセス実行ごとに最適なエッチング結果を得る革新的なアダプティブチューニングシステムを備えています。この高度なチューニング技術は、室温、周囲圧力、ガス組成などのさまざまな環境条件を考慮して、プラズマパラメータを最適なエッチング性能に最適化します。AMAT P5000 MXP+POLYエッチャー/アッシャーのモジュラーアーキテクチャは、プロセスの一貫性と歩留まりの改善を提供します。交換可能なモジュールには、一貫した最適化されたプロセス環境を維持するためのRF電源、プロセスガス供給、およびクーラント流体が含まれます。オプションのRF電流マッピングユニットにより、精度がさらに向上します。MXP+POLYエッチャー/アッシャーP5000、高精度のプロセス最適化と高スループット機能により、生産性と品質を向上させるように設計されています。アプライドマテリアルズP5000 MxPポリエッチャー/アッシャーには、材料特性評価およびプロセス監視のための洗練されたモニターおよび制御機も装備されています。このユニークな機能は、フィードバックと制御を提供するように設計されており、エッチングパラメータをリアルタイムに最適化してエッチプロセスを特性化および検証できます。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPポリエッチャー/アッシャーは、独立したプロセス制御とプログラミングのための高度なオートメーションツールも備えています。AMAT P5000 MxPポリエッチャー/アッシャーは、半導体業界のハイエンドポリシリコンエッチングに最適なツールです。コスト効率の高いパッケージで、デバイスの歩留まりの向上、高スループット、正確なプロセス最適化を実現します。その高度で自動化された機能は、すべてのエッチングのニーズに最適です。
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