中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9411663 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark Iは、半導体製造業界のニーズに対応するために特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。このモデルは、金属プラテンと単一の液体窒素冷却チャックで構築されており、プロセスの均一性、効率の向上、および他のエッチャーよりも高い精度を実現しています。AMAT P5000 Mark Iは、均一性とスループットを向上させる単一の負荷装置を備えたマルチゾーンのエッチャー/アッシャーです。この装置は、ドライエッチングとウェットアッシングの両方を実行することができます。さらに、APPLIED MATERIALIES P5000 Mark Iは、沈殿プロセス中に発生する温度変動にも一定の均一性を提供するように設計されています。P5000 Mark Iは、製造アプリケーションのための高度な機能のセットを提供します。これには、高精度の3軸モーションコントロールシステムが含まれており、最大1 μ mの精度で500mm/sまでのモーションを制御できます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark Iは、CVD、 PECVD、 ALDなどの幅広い成膜プロセスを実行することができます。AMAT P5000 Mark温度、圧力、流量などのプロセス変数も正確に制御できます。さらに、APPLIED MATERIALS P5000 Mark Iは高精度で効率的です。このモデルは、汚染を防ぐために、プロセス中に生成されたすべての粒子と発煙がろ過されることを保証する3段階のろ過ユニットを備えています。このユニットには、パラメータとプロセス制御をリアルタイムで補正するための複数のin-situおよびリアルタイム監視システムが装備されています。さらに、P5000 Mark Iは耐久性が高く、メンテナンスが容易です。このユニットは、耐腐食性のガラス内部とエポキシ系エアロックで設計されており、簡単にアクセスおよびクリーニングできます。このエッチャー/アッシャーは、高温で連続的に動作し、安全で信頼性の高い方法で一貫して結果を出すことができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I etcher/asherは高度で高精度な製造装置です。そのマルチゾーン設計、精密3軸モーションコントロールマシン、高度な現場監視ツール、および信頼性の高い温度および圧力制御機能により、信頼性と効率性が向上します。これらの機能により、AMAT P5000 Mark Iは半導体製造業界にとって優れた選択肢となります。