中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Omega #168263 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Omega Etch/Asherは、プロセス時間と温度の重要な制御を必要とするさまざまなエッチングおよびアッシング用途に広く使用されている高性能プラズマエッチャー/アッシャー装置です。AMAT Omegaは、マイクロプロセッサ制御システムや専用のプロセス調査および監視などの高度な技術により、製品のバリエーションに迅速かつ信頼性の高い応答で優れたプロセス制御を提供します。アプライドマテリアルズのオメガは、エッチングとアッシング機能を1つのツールに組み合わせ、両方のタイプのプロセスを同時に処理できます。プログラム可能な電源と自己完結型プラズマ生成チャンバーを備えています。この電源は、チャンバーに導入されたプロセスガスからプラズマを生成するために必要な電力を供給します。処理中に適切な温度と圧力制御を確保するために、オメガは高度な高度な温度補償システムを装備しています。AMAT/APPLIED MATERIALTSオメガは、プラズマ閉じ込めによる高度なガス分布の実装により、優れたエッチング精度とアッシング精度と再現性を提供します。プロセスコントロールユニットは、時間と温度の機能として正確な電力を提供することにより、エッチング/灰プロセスを最適化するように設計されています。さらに、特許取得済みのエッチング/アッシュチャンバー技術により、幅広い基板を損傷なく効率的に加工できます。AMAT Omegaは、レシピ開発ツール、自動化されたプロセス調整、およびエッチング/アッシュプロセスの強力な分析などのいくつかの機能を提供し、詳細なプロセス情報と結果を提供しながら、障害や異常を迅速に特定します。さらに、高度なユーザーインターフェースにより、APPLIED MATERIALS Omegaはユーザーフレンドリーなマシンとなり、プロセスパラメータに簡単にアクセスでき、オペレータが操作条件をすばやく変更できるようになります。精度、速度、信頼性を組み合わせることで、Omega Etch/Asherツールは、プロセスのパフォーマンスを向上させ、パフォーマンスの品質を確保しようとするお客様に最適な選択肢です。AMAT/APPLIED MATERIALS Omegaは、優れたプロセス制御、高度なプラズマ生成機能、広々としたチャンバー設計により、ハイエンドのエッチングおよびアッシング用途に最適です。
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