中古 AMAT / APPLIED MATERIALS MxP #157600 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS MxP
ID: 157600
Chamber.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS MxP Asher/Etcherは、今日の高度な電子部品のエッチング/ストリッピングに使用される画期的な機器です。エッチングとストリッピングの両方が可能で、さまざまな設定で汎用性を発揮します。それはいつでも3つまでの基質を扱うことができる十分に封じられた、自動化されたプラットホームです。AMAT MxP Asher/Etcherは、パルス式の低圧エッチングプロセスで動作し、基板表面の完全性を維持しながら、クリーンで一貫した結果を生成するように設計されています。このシステムには、さまざまなエッチングプロセスレシピとカスタマイズ可能な設定が付属しており、さまざまな生産設定の特定のニーズを満たしています。プロセスを開始するために、ウェーハは最初に機械の主要な部屋に導入され、そこで酸素、窒素および他のさまざまなガスにさらされます。これらのガスは、エッチング処理を開始し、ウェハの表面温度を最適なレベルに保つのに役立ちます。基板は、エッチングされた材料を持ち去る低圧シャワーにさらされます。これは、基板表面のクリーンで制御されたエッチングを保証するのに役立ちます。エッチングが完了すると、基板はO2プラズマアッシャーにさらされ、ウェーハ表面から残りの金属酸化物を除去します。この改善された洗浄プロセスは、エッチングと剥離の結果を改善することにつながります。APPLIED MATERIALTS MxP Asher/Etcherは、優れたエッチングまたはストリッピング結果をお探しの方に簡単に使用できます。このユニットは、古いアッシャー/エッチャーモデルでよく見られる故障、損傷、または悪い結果のリスクを最小限に抑える最先端の設計を使用しています。このユニットは、困難な作業を容易に処理できるため、今日の高度な半導体アプリケーションに最適なデバイスです。MxP Asher/Etcherは、あらゆるハイテク生産設定の必須コンポーネントです。
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