中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Hart #9225943 を販売中

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Hartは、半導体ウェーハの精密かつ再現可能なエッチングを提供するように設計された先進的なエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、エッチング機能とアッシング機能の両方で、一度に最大4つの300mmウェーハを処理することができます。このユニットには、基板に堆積したエッチング/灰の事前決定された均一な厚さを保証するカスタムデザインの加熱チャックが装備されています。AMAT Hartマシンは、磁気補助化学エッチング（MAC-Etch）プロセスを利用して、ウェーハの正確で均一なエッチングを保証します。このプロセスは、強烈な電磁界の応用を利用して、基板の制御および制御可能なエッチングを作成します。APPLIED MATERIALS Hartは、このプロセスを使用して、1 nm未満の分解能でエッチング用途を達成することができます。さらに、MAC-Etchプロセスは、従来のエッチングプロセスと比較して非常に低いポリグレイン残差を生成します。さらに、このツールは、基板上に酸素またはシリコン含有層を堆積するように設計された時間節約プロセスであるスピンオンガラス（SOG）成膜を行うことができます。基板への接着性が向上し、エッチングの均一性が向上するため、これは有利なプロセスです。ハートアセットにはレーザー熱処理モデルも装備されており、エッチング/灰プロセスをより速く、より少ない工程で完了するために使用されます。レーザー熱処理装置は、エッチングとアッシングの精度を向上させ、より良い基板仕上げを生成し、プロセスの全体的な均一性を向上させます。このシステムはまた、収集されたプロセスと製品データを保存および監視することを可能にするデータ監視ユニットと統合されています。これにより、プロセスパラメータとパラメータを調整して、プロセスの均一性と精度を向上させることができます。最後に、このマシンは直感的なユーザーインターフェイスで使いやすいように設計されています。これにより、ユーザーはプロセスレシピをすばやくプログラミングし、エッチングとアッシングプロセスを制御できます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALSハートツールは、精度と速度を備えた半導体ウェーハをエッチングするための強力で信頼性の高い資産です。