中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407679 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II用ガスボックスは、信頼性の高い精密エッチャーとアッシャー装置です。このシステムは、半導体業界で微細な電子デバイスや部品の製造に使用されています。エッチャーおよびアッシャープロセスは、反応性ガスを使用して基板から材料を除去することにより、基板表面にパターンを転送するために使用されます。このユニットは、最大150mmウェーハの信頼性の高い処理用に設計されたステンレススチールチャンバーを備えています。チャンバーは密閉されており、高度なガス流量制御だけでなく、トータルプロセス制御のための統合された安全システムを備えています。このユニットにはCentura DPSIIプロセスコントローラが装備されており、精密ガス配分用の統合ガスパネルとフロントパネルコントロールボタンを備えており、マシンメニューや設定に簡単にアクセスできます。このツールは、イベントログ、診断、フォルトタイプの表示機能も提供します。Centura DPS II用AMATガスボックスは、高度なPLC制御アセットと完全に統合されており、モデルのプロセスとシーケンスを直接制御できます。PLC制御装置はまた高度の欠陥検出、また安全および環境機能を提供します。このシステムには、チャンバー圧力を監視および制御する圧力レギュレータと、プログラムされたレシピに従ってプロセスガスを正確に混合して流すために使用されるガスマニホールドが装備されています。このユニットにはレシピ管理ユニットも内蔵されており、オペレータは必要に応じて新しいレシピをすばやく取得、修正、または作成することができます。APPLIED MATERIALS Centura DPS II用ガスボックスは、最大3つのプロセスガスを処理するように設計されており、信頼性が高く効率的なエッチングおよびクリーニングソリューションを提供します。機械はカスタマイズ可能、ユーザーフレンドリーであるように設計されています。さまざまなシステムやオートメーションプロセスに簡単に統合できます。その高度な機能は、ウェーハ処理プロセス全体にわたって信頼性の高い動作を保証します。