中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407676 を販売中

AMAT Centura DPS IIガスボックスは、Centura DPS IIエッチャー/アッシャーにとって重要なコンポーネントです。これは、クリーンで精密なエッチングと灰プロセスのための正確なガス入力をエッチャーを含み、提供するように設計された囲まれたガスボックスです。応用材料Centura DPS IIのガスボックスはステンレス鋼から成り、耐久および信頼できる構造を作成します。このボックスには2つのポートがあります。1つは、チャンバーにガスを供給する入口ポート、もう1つは、使用済みガスを効率的に排出する出口ポートです。このボックスを使用すると、Centura DPS IIは2〜3種類のエッチングまたはアッシングガスを一度に使用でき、ユーザーはプロセスをカスタマイズできます。ボックスにはガススイッチングバルブがあり、ガスボックスとエッチャーチャンバーの間を流れるガスを正確に制御します。バルブはまた、プロセスの一貫性を維持するために重要である手動ガスフラッシュのオプションのために設計されています。箱の完全性を維持し、潜在的な漏出を防ぐために、箱を通るすべてのラインはOリングおよび他のシーリング材料が装備されています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS IIガスボックスは裏面スクラバーを備えており、エッチャーのプロセス安定性に役立ちます。このスクラバーは、機械の排気ガス流から微量の腐食性ガスを除去する責任があります。スクラバーは、有害な腐食性ガスから他のシステムコンポーネントを保護するのにも役立ちます。最後に、ガスボックスは直感的なコントロールパネルで設計されています。このパネルは手動入力を可能にし、高度なユーザーは入口圧力、流量および真空圧力を調節することによってエッチングガスの流れおよび圧力を制御することを可能にします。これらの機能は、プロセスの最適化を可能にするためにパネルを介して自動化することもできます。全体として、AMAT Centura DPS IIガスボックスは信頼性が高く、使いやすいガスボックスです。ステンレス製の構造、ガススイッチングバルブ、裏面スクラバー、直感的なコントロールパネルにより、エッチングとアッシングプロセスのためのシンプルで安全なシステムです。