中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407675 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II用ガスボックスは、Centura DPS IIシステムで使用するために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。それはプロセスろ過された、加熱され、そして加湿されたガス配達装置と信頼できる、一貫した性能を提供するように設計されています。これにより、幅5インチまでの基板上の薄膜材料の正確で均質なエッチングとアッシングが保証されます。ガスボックスには高度なコントロールパネルがあり、理想的な蒸着プロセスに必要なすべてのパラメータと条件を正確に制御できます。ガスボックスは、酸化物エッチング、ポリイミドエッチング、アッシング、マスセレクティブエッチング、2Dパターンアッシングなど、幅広いエッチングおよびアッシング用途向けに設計されています。それに自動中心になること、調節可能な高さおよびカンチレバーの位置が付いている真空のプラテンが優秀なエッチングおよびashingの均等性を提供するあります。ガスボックスには、基板やステッパーアライメント光学系の凝縮を防ぐ加熱加湿ステージシステムが含まれています。また、独自に制御されたガスボンネットと最大6種類のガスをサポートできるガスミキサーを備えたプロセスフィルタ式のガスコントロールユニットも含まれています。機械はまた交差汚染の効果を減らすのを助ける5つの熱絶縁バルブアセンブリを含んでいます。さらに、液体エチャントを保持するためのテーパーレスビーカーと、エチャントを安全に除去するためのガスドレインを備えています。Centura DPS II用AMATガスボックスは、さまざまなアプリケーションに高品質で正確な結果を提供することができる高度なエッチングおよびアッシングツールです。プロセスフィルタガス配送、加熱加湿ステージツール、熱絶縁バルブアセンブリ、液体エッチング用のテーパーレスビーカーなど、使いやすさ、安全性、精度を考慮して設計されています。これにより、薄膜材料のエッチングとアッシングにおいて信頼性が高く、安定した性能が保証されます。