中古 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9400025 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS G5は、さまざまな基板のエッチングと加工に使用される、生産重視のシングルチャンバーエッチャー/アッシャープラットフォームです。AMAT G5は、正確で信頼性が高く再現性のある性能を提供するように設計されており、大量の製造プロセスにとって貴重なツールとなっています。アプライドマテリアルズG5は、低温から高出力エッチングまで、幅広いエッチング機能を提供します。SiO2、 Si3N4、 SiC、窒化アルミニウム（AlN）、ディープウェルエッチングなどのシリコン材料のエッチングに使用できます。エッチングプロセスは、チャンバー温度および圧力制御システム、プロセスガス、RFパワー、およびその他のさまざまなハードウェア構成など、さまざまなアプリケーションのニーズに最適化できます。G5は、エッチングチャンバーの基板温度を制御およびプロファイルする独自の機能を備えています。さらに、プログラマブルコントローラは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを介して最適な温度、圧力、ガス流量プロファイルを設定できます。エッチャー/アッシャーには、オペレータの怪我や運転上の危険を防ぐための安全インターロックシステムも装備されています。AMAT/APPLIED MATERIALS G5は、プロセス固有の監視、自動データ取得、および統計プロセス制御機能を提供する直感的なユーザーインターフェイスも提供します。この直感的なユーザーインターフェイスにより、エッチャー/アッシャーを最小限のオペレータ介入で効率的に操作できます。その制御システムは非常に信頼性が高く、洗練されており、簡単で効果的なプロセス制御と常に簡単なプロセス最適化を可能にします。AMAT G5は3リットルのチャンバー容積を持ち、さまざまな基板サイズとエッチング工程でチップ生産に使用できます。効率的で信頼性が高く堅牢な設計で、工業生産プロセスに適しています。アプライドマテリアルズG5は、高性能エッチングおよびアッシング用途の大量生産に最適です。