中古 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9399903 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS G5 Etcher/Asherは、エッチングおよびアッシングプロセスの高度な性能を提供するマルチチャンバー、シングルウェーハエッチャー/アッシャーです。この信頼性の高い低メンテナンスマシンは、複雑なエッチング/灰プロセス工程や困難な材料に最適化された実績のある高精度技術を備えています。独自の設定性と高スループットにより、AMAT G5エッチャー/アッシャーは半導体デバイス製造に最適なツールです。APPLIED MATERIALTS G5 Etcher/Asherは、利用可能なスペースを効率的に利用できるマルチチャンバー設計を備えており、完全に統合された自己完結型で簡単にインストールできます。優れたプロセス均一性と高スループットを実現し、1時間あたり最大500ウェーハを実現します。また、G5はAMAT Turbo Technologyを使用して高いスループットと低コストを提供し、最大容量は3種類のガスと2種類の温度コントローラを備えています。AMAT/APPLIED MATERIALTS G5 Etcher/Asherには高度なオートメーション機能が搭載されており、インテリジェントなプロセス制御によって信頼性と歩留まりを向上させます。ユーザーが複数のレシピオプションにエッチャー/アッシャーを設定できるようにすることにより、レシピの柔軟性とコスト効率を提供し、スペース要件を削減し、他の機器への依存性を低減するように設計されています。さらに、AMAT G5には、センサー内蔵や、人員や機器を保護するために設計された自動シャットオフシステムなど、いくつかの安全機能が組み込まれています。APPLIED MATERIALTS G5 Etcher/Asherは、単結晶Si、 III-V化合物、ウェハキャリア、エポキシ樹脂など、幅広い基板を容易に加工できるように、材料の互換性を最大限に高めるように設計されています。基板タイプを問わず、すべての素材に対して優れたエッチング率を有しており、シングルウエハ機能により、厚さやサイズの異なる基板を容易にエッチングできます。また、G5は高度な熱制御を採用しており、一貫した膜均一性と厚さを維持しながら、レシピの柔軟性を最大限に高めています。AMAT/APPLIED MATERIALS G5 Etcher/Asherは、マスクエッチング/灰、ウェットエッチング、ドライエッチング、ストリップエッチング/灰プロセスなど、さまざまなプロセスをサポートします。これらのプロセスは、エッチングおよびアッシング操作をトータルに制御し、柔軟性を確保できるように構成できます。また、無駄な試薬の量を減らし、処理時間を短縮するクローズドループガスシステムも備えています。さらに、AMAT G5は、追加のチャンバーの必要性を排除したコンパクトなサイズで設計されており、低消費紙率はコスト削減に役立ちます。