中古 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9399577 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALTS G5エッチャー/アッシャーは、高度なICパッケージングアプリケーション向けに特別に設計された強力なプロセスツールです。AMAT G5は、積層パッケージングアプリケーションのバックエンド製造に高度なエッチングおよびアッシング機能を提供します。高均一性と高いスループットエッチングを両立し、高い再現性を発揮します。応用材料G5は最先端の技術、材料およびプロセス条件の組合せを使用して造られます。この装置は堅牢な機械設計で、密閉されたチャンバー、複数のヒーター、およびサーマルサイクリングに耐える洗練された冷却システムからなる高温プラットフォームを備えています。さらに、G5はプラズマやプロセスガスを利用して、複雑なIC構造を精密にエッチングします。AMAT/APPLIED MATERIALS G5のコンパクトチャンバーは、エッチング性能を最適化するさまざまな加工条件を提供します。さらに、このチャンバーは、最適なエッチングとアッシング性能を確保するための超低粒子蒸着を備えています。AMAT G5には、ユーザーがエッチング結果を確認できるポストプロセスのウェハートラッキング機能も搭載されています。アプライドマテリアルズG5の自動化されたプロセスシーケンシングは、G5の統合されたタッチスクリーンインターフェイスを使用して簡単にプログラム可能でカスタマイズ可能です。コントロールユニットには、特定のプロセスパラメータ内で均一なエッチング結果を保証するための、不具合防止ロジックが内蔵されています。AMAT/APPLIED MATERIALS G5は、プロセスを監視し、エッチング性能を確認するための一連の高度な診断機能も備えています。これらには、in-situおよびpost etch integrity検証、ならびに品質管理のためのスキャン電子顕微鏡ツールが含まれます。AMAT G5は、再現可能な精度と均一性を備えた高品質の構造を製造することができます。APPLIED MATERIALTS G5には、さまざまなプロセスパラメータを監視できる高度な監視および制御マシンも装備されています。このツールはローカルまたはリモートで操作でき、プロセスの最適化とトラブルシューティングに使用できる詳細なプロセスデータを提供できます。最後に、G5には、技術支援と定期的なメンテナンスサービスをユーザーに提供できる包括的なサポートスイートが付属しています。この包括的なカスタマーサービスは、AMAT/APPLIED MATERIALTS G5アセットのユーティリティを最大限に活用し、再現性と信頼性の高いパフォーマンスを確保するように設計されています。
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