中古 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9270848 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS G5は、ウェーハの精密エッチングまたは灰処理のために設計されたアッシャー/エッチャー装置です。このシステムは、高出力の高周波プラズマエッチングと灰プロセスを利用して、ウェーハの大小のバッチを迅速かつ正確にエッチングします。このプロセスは、+/-1umの深度精度で動作し、+/-2umの表面平面精度を達成することができます。AMAT G5は、集積回路パッケージング、ウェーハ薄型化、誘電エッチング、ポリイミドエッチング、ディスプレイ生産などの用途に使用されるように特別に設計されています。アプライドマテリアルズG5ユニットは、密閉されたガスキャビネットを備えたコンピュータ制御のシングルチャンバー設計を特徴としています。この設計により、プラズマが正確に含まれ、結果として得られる灰が満たされるようになります。機械はまたより正確な、反復可能な結果を可能にする理性的な操作変数と設計されています。さらに、G5は可動チャンバー壁で設計されており、最大300mmの基板に対応できます。AMAT/APPLIED MATERIALTS G5は、湿式および乾式の両方の灰処理能力を提供し、粒子汚染のリスクをさらに低減するのに役立ちます。このツールには、粒子の連続的なインプロセスモニタリングのための飛行時間質量分析計が装備されており、AMATの高度なエッチング制御ソフトウェアを搭載しています。このソフトウェアには、可能な限り最高のパフォーマンスを自動的に維持するためにプロセスパラメータを調整する自動チューニングサイクルが含まれています。このソフトウェアは、APPLIED MATERIALS Production Viewerソフトウェアとも互換性があり、ユーザーは遠隔地からプロセスを監視することができます。AMAT G5は、ウェーハの高精度エッチングと灰処理のために設計された高度なアッシャー/エッチャー資産です。その設計により、プラズマエッチングと灰プロセスの封じ込めが保証され、反復可能な結果が得られます。このモデルは可動チャンバー壁も備えており、湿式および乾式の灰処理機能を備えています。最後に、飛行時間の質量分析計と高度なエッチング制御ソフトウェアを搭載しており、遠隔地からのプロセスを監視できます。