中古 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9263764 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS G5は、半導体製造およびパッケージングに使用される精密エッチング/アッシングツールです。効率的なフォトリソグラフィックパターニング、エッチング、および灰洗浄のために設計されています。AMAT G5は使いやすいユーザーインターフェイスと高スループット機能を備えたオールインワン設計です。また、低消費電力、低メンテナンス設計、さまざまなカスタマイズ可能な処理オプションを備えています。APPLIED MATERIALTS G5は、セミスタンダードおよびワイドボトムプロセスチャンバーを提供し、さまざまなエッチング/アッシングプロセス要件に適しています。これは、無線周波数（RF）とプラズマ源に基づいており、エッチングと灰の洗浄の両方が可能であり、誘電材料の薄い層で明確に定義されたパターンを生成します。その制御可能な可変周波数範囲の27-250kHzは、ミクロンレベルの精密機能の信頼性と正確なエッチングを可能にします。さらに、G5は優れたウェーハスループットとプロセスの均一性を提供します。ウエハカセットを内蔵し、ウェハトランスファーが常に成功するように設計された自動ロードポートを内蔵しています。自動化されたウェーハハンドリングシステムは、異なるカセット間でウェーハを10秒以内に移動する柔軟性を提供します。調節可能なウエハサポートサスペンションにより、幅広いウエハサイズの加工が可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS G5には、低温を迅速に検出して特定し、非均一性を処理する複数のin-situ監視機能も装備されています。その最先端のガス分配システムは、正確で均一な流量制御と、ガス対基板条件の優れた品質を提供します。最後に、プラズマ封じ込めシステム「Hot Wall」と「Active Surface Source Cleaning」機能により、内蔵の安全性と汚染防止機能が強化されています。すべてにおいて、AMAT G5は、材料の薄い層で正確で高性能なパターンを確実に生産するための強力なエッチング/アッシングツールです。高効率な加工能力と堅牢なエンジニアリング設計により、マイクロサイズの機能や短いサイクル時間の信頼性の高いエッチング/アッシングに適しています。アプライドマテリアルズG5は、優れたウェーハスループット、信頼性の高いプロセス均一性、および簡単に調整可能な圧力、温度、およびガス流量設定を提供します。