中古 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK #293616964 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPKは、高度な半導体加工のために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。ポリシリコン、SiO2、 SiN、ポリイミドなど様々な材料で単層または多層膜を乾燥エッチングおよびアッシングすることができます。このマシンは、様々なプロセス化学およびエッチングレシピとの互換性を可能にする高度なモジュラー設計を備えています。チャンバーサイズは205mm×215mm×305mmで、直径200mmまでのウェーハに対応できます。AMAT G5 MESA HPKには、固定周波数RFジェネレーターとエッチング性能を最適化するマニホールドガス装置が装備されています。また、高度なガス流量管理システムを備えており、オペレータはガス圧力とガス流量を正確に制御することができます。このユニットは手動調整の必要性を排除し、オペレータのエラーを低減します。さらに、このマシンは多くの異なる化学物質と互換性があり、さまざまなアプリケーションに適しています。APPLIED MATERIALTS G5 MESA HPKは、高圧モリブデンエッチングチャンバーを備え、ウェハ全体に高速エッチングと均一なエッチングを提供します。それはまた機械内のプロセスパラメータおよび均一エッチングのよりよい制御を提供する高容量ポンプおよび制御が装備されています。これにより、エッチングおよびアッシングプロセスの高品質なパフォーマンスが保証されます。G5 MESA HPKには、高度な診断およびメンテナンスツールも装備されています。これにより、オペレータは、分析してプロセス改善に適用できるデータを収集することで、機械のエッチング性能を理解することができます。また、エッチングまたはアッシングプロセス中に発生する可能性のあるハードウェアまたはソフトウェアの問題を検出できる自動診断ツールも備えています。これは、ダウンタイムと不要なシャットダウンを防ぐのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPKは、高精度、高性能、信頼性の高いエッチングおよびアッシングプロセスを提供する、高度にモジュール化された設定可能でアップグレード可能なエッチャー/アッシャーです。高度な診断およびメンテナンス機能により、エッチングのパフォーマンスを最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えます。最後に、異なる化学物質との互換性があるため、さまざまな用途での使用にも適しています。