中古 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM #9311364 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS G5 MESA EFEMは、集積回路部品の製造に使用される高度なエッチング/アッシュ技術です。AMAT社の最新のツーリングとオートメーション技術を搭載し、高精度のエッチングとアッシングが可能です。AMAT G5 MESA EFEM装置は、最大直径200mm、長さ300mmのウェーハを処理するように設計されています。1000pcs/hourまでのスループットと超高スループットを備えています。また、独自のデュアルチャンバー技術により、サブumプロセス精度を実現し、エッチングとアッシングの制御と精度を向上させます。さまざまなウェーハサイズに構成可能なレシピを提供し、歩留まりを最適化し、欠陥を最小限に抑えるインテリジェント制御システム。さらに、APPLIED MATERIALTS G5 MESA EFEMシステムは、塩酸、硫酸、リン酸、およびその他の酸を含む幅広いウェットケミカルエッチングソリューションで、優れたプロセス均一性と生産性を提供します。ウェットパッシベーション機能により酸化を制御し、エッチング構造や微細特徴の構造/表面品質を向上させます。低圧化学蒸着（LPCVD）およびプラズマ強化化学蒸着（PECVD）機能により、ウェハの表面仕上げを改善し、耐久性を向上させます。G5 MESA EFEMユニットには、製造中に精密なプロセス制御を可能にする洗練されたオートメーションソリューションが組み込まれています。自動化されたウェーハセンタリングとローディング、プロセス監視、および複雑なエッチングとアッシング操作を効率的に行うためのレシピ管理が含まれています。その安全性は、アンモニアや塩化水素などの有害ガスの危険なレベルを検出するように設計された自動ガスセンシングシステムで、人員や機器の安全性を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEMは、信頼性の高いプロセス品質を確保するために、産業用グレードのセンサーと光学系を使用して正確なウェーハスキャンを行い、リアルタイムの表面監視とレポートを行い、動的なプロセス制御を可能にします。また、安全機能を備えた自動ハンドリング操作用の6軸ロボットを搭載し、人員を危害から保護します。さらに、AMAT G5 MESA EFEMは、より大きな制御と品質のための高度なプロセスモニタリングマシンに他の処理装置と統合されています。柔軟な統合により、生産を合理化し、ツール全体の効率を向上させます。この高度なエッチングおよびアッシング資産は、今日の主要な生産ラインにとって理想的な選択肢です。