中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9262172 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2は、一貫した反復可能なエッチングまたはアッシングプロセスを提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。それは湿ったか乾燥した化学処理のための信頼できる用具で、ほとんどの製造業の必要性を満たすようにとりわけ設計されています。これは、幅広いプロセスガス、温度、圧力、およびウェハサイズに対応できるため、特殊プロセスに最適なツールです。アッシャーには湿度と温度制御装置があり、ユーザーは温度と湿度を正確に設定してプロセスに最適な条件を作成できます。このチャンバーには、さまざまなプロセスガスとドーピングレベルを正確に制御し、繰り返し可能で一貫したエッチングとアッシングプロセスを保証する自動ガス制御システムも装備されています。また、ウェーハ周囲の温度を常に均一に保つマルチゾーン温度制御ユニットを備えています。AMAT Enabler E2は、すべてのウェーハに効率的なガス分配と均一なウェーハ加熱を提供する完全自動ガス分配機を備えています。また、過加圧、過熱、過熱などの危険な条件が発生しないように設計された高度な安全ツールを備えています。このチャンバーには、高度な走査型電子顕微鏡（SEM）が装備されています。これにより、プロセス中にウェーハを正確かつ高解像度でイメージングすることができ、欠陥密度が低下し、歩留まりが向上します。さらに、直感的なユーザーインターフェイスを備えた高度なビューポート監視およびデータ監視アセットが付属しています。これにより、プロセス中およびプロセス後のウェーハを簡単に監視し、プロセスパラメータを最適化することができます。最後に、APPLIED MATERIALS Enabler E2 asherにはOpenFabソフトウェアが搭載されています。これは、アッシャーのパフォーマンスを最適化し、アッシャープロセス全体を制御するために特別に設計された強力なソフトウェアプログラムです。これにより、ユーザーはすべてのプロセス値にすばやくアクセスし、最適なレシピをすばやく設定して維持し、プロセス条件とパフォーマンスを簡単に監視できます。また、ユーザーはすべてのウェーハデータとプロセス条件に簡単にアクセスしてアーカイブすることができます。全体として、Enabler E2 asherは強力なツールであり、適切に使用すると、あらゆる種類のウェーハおよびニーズに対応するエッチングおよびアッシングプロセスを一貫して繰り返し行うことができます。これは、最適なプロセス精度と結果を確保するために、高度な技術に依存して信頼性の高い強力なマシンです。