中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9241234 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2は、半導体、MEMS、およびオプトエレクトロニクス製造の高度なプロセス用に設計された強力なプラズマエッチャー/アッシャー装置です。フォトレジストパターニング、発光ダイオード（LED）エッチングおよびアッシング、3次元（3D）センシング、光学表面、選択領域成膜、相互接続プロセス、誘電エッチングなど、さまざまなプロセスで使用されています。システムは、独自のプロセスレシピ、ガス流量管理ユニット、RF電源、真空ポンプを備えた複数のチャンバーで構成されています。AMAT Enabler E2は、AMATの最新エッチングおよびアッシングマシンです。これは、ダウンタイムを最小限に抑えて品質の高い結果を出すことができる非常に信頼性の高いツールです。その主な利点は、複雑なプロセス形状に必要な高いスループットと精度制御を実現することです。この資産はまた、エッチプロファイルの優れた均一性を提供し、一貫した高品質の製品をもたらします。アプライドマテリアルズ・イネーブラE2には、新たに設計されたプロセスガス配送モデルが搭載されています。ガス供給装置は、高い柔軟性と精度を提供するように設計されています。これは、絶対的な精度でチャンバーにプロセスガスを供給することができ、実行されている作業の種類ごとに適切なプロセスレシピが従うことを保証します。ガスデリバリーシステムは、複数のガスを同時に処理できるため、複数のプロセスレシピを同時に追求することができます。ユニットのRF電源は、高精度で優れた再現性を備えた堅牢な制御を提供するように設計されています。電源を使用すると、ユーザーは複数のプロセスレシピを設定し、プロセスパラメータが必要に応じて正確であることを確認できます。電源には統合されたモニタリングマシンもあり、ユーザーはプロセスパラメータを確認し、必要に応じて調整することができます。イネーブラE2には真空ポンプも装備しています。ポンプは、選択したセットポイントに急速な真空レベルのランピングを可能にします。このツールはまた、エッチング工程で使用される化学物質によって引き起こされる内部汚染から保護するように設計された緊急クリーンアウト機能を備えています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2はAPPLIED MATERIALSの強力なエッチングおよびアッシング資産であり、精度と再現性を備えた幅広いプロセスを処理できます。このモデルは、効率的な方法で優れた結果を提供することができます。