中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9236843 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2は、高度な半導体製造業向けに設計されたエッチャーおよびアッシャー装置です。エッチングとアッシングに最適なコスト・ツー・パフォーマンスを提供するように特別に設計されています。AMAT Enabler E2は、高度なソフトウェアコントロールと組み合わせた超短パルスレーザー技術を採用しており、高速で正確で反復可能な結果を得ることができます。アプライドマテリアルズイネーブラE2は、エッチング加工において、短いパルスレーザーを使用して、最大0。7ミクロンの厚さの材料を高スループットで除去します。レーザービームは、他のエッチング技術と一般的に関連付けられている表面の損傷なしに、特徴を正確にパターン化することができます。このシステムは、約10 µmのスポットサイズでターゲットに配信されるレーザービームのおかげで、優れたプロセスの均一性と高い一貫性を提供すると報告されています。イネーブラE2は、パルスレーザー+酸素を使用して基板から高分子残基を除去します。このプロセスの高いスループットは、レーザーの低ビームスポットサイズによって達成され、厚さが最大0。7 µmまで均一で反復可能な結果が得られます。その結果、クリーンでデブリのないエッチングパターンが得られ、正確なダウンストリーム操作が可能になります。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2のコントロールユニットも使いやすさを考慮して設計されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、グラフィカルなインタラクティブマップとパラメトリックレシピ設計を備えており、レシピ開発時間を短縮します。AMAT Enabler E2は、半導体やAUV生産などの研究および生産環境に最適な、学習しやすく、使いやすく、信頼性の高い機械であるように設計されています。