中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9231969 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2は、さまざまなプロセスエンジニアリングのニーズを満たすように設計されたフル機能のアッシャー/エッチャーです。E2は、精密な品質基準に基づいて製造された高性能で精密な機器で、堅牢なプロセス制御と正確な再現性を保証します。高解像度のオンボード分光計を備えており、エッチング工程のリアルタイム監視が可能です。E2は、デュアル周波数RFバイアスと中周波（MF）電流の組み合わせを使用して、非常に広い抵抗範囲で均一にエッチングされた結果を提供します。エッチングシステムは、刻んだマイクロ波エネルギー源を使用して、トレンチ全体またはマルチデプスまたは3Dエッチングの電力を変調することにより、均一なエッチング深さとプロファイルを確保します。さらに、E2は個別に制御可能なEDGEエッチャーとプログラム可能なプログラム可能なジオメトリを備えており、レシピの柔軟性を高めています。その他の機能としては、完全に統合されたヘリウム大気およびガス流量制御、ならびに正確なエッチング結果を保証するためにプラズマ条件を自動的に監視するオンボード統合プラズマ調整モジュールがあります。最大のプロセス制御のために、E2は、実行間の汚染を排除し、サイクル時間を短縮するシングルチャンバー設計を提供します。E2のための統合された安全システムには、統合されたデジタルRF発電機、ならびに安全インターロックユニットおよび絶縁接地装置が含まれます。E2はまた、最大限の均一性を実現する統合冷却機を備えており、独立したプロセスコントローラ、ウェーハ温度管理システム、およびより高速なツール可用性のためのCDAループを備えています。より大きなプロセス制御のために、E2はオンボード分光計を使用してリアルタイムのプラズマ監視を提供します。最新のプロセス制御機能と精密加工部品を組み合わせることにより、AMAT Enabler E2は、さまざまなエッチングニーズに対応する信頼性の高い反復可能なツールを探しているプロセスエンジニアのための優れたプラットフォームを提供します。APPLIED MATERIALS Enabler E2は、高度な機能に加えて、長寿命、高速な基本サイクルタイム、および低コストの所有コストで優れた価値を提供します。
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