中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293819967 を販売中
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ID: 293819967
Etcher
Equipment front end module (EFEM)
Vacuum Handling Platform (VHP)
(3) Load ports
(3) GHW50A
(3) B5002
ATM.
AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2は、マイクロエレクトロニクス業界に特化した高度なエッチャーおよびアッシャーです。AMAT Enabler E2は、反転バランスプロセスチャンバーとデュアルセクタエッチジオメトリにより、業界をリードする精度を提供します。これにより、マテリアルとマスクセットサイズにわたって調整可能なエッチングの均一性を備え、高い精度のマイクロエレクトロニクス処理を可能にします。APPLIED MATERIALTS Enabler E2は、強力な垂直エッチングジオメトリとオプションの温度制御を備えたハイオワプロセスチャンバーを備えています。これにより、SiO2やSiNxなど多種多様な材料を極めて精密にエッチングすることができます。Enabler E2の柔軟性により、加工材料の高精度パターニングが可能です。超薄型ウェーハから厚いシリコンオンインシュレーター(SOI)基板まで、幅広い素材や基板厚をパターン化することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2の自動マルチゾーン処理機能により、精密で再現可能なプロセス群が一貫した結果をもたらし、他のプロセスストリームからの潜在的な汚染を排除できます。また、高速エッチングと蒸着のためのデュアルソースのプラズマソースを備えているため、エッチングと蒸着ステップをより効率的に切り替えることができます。AMAT Enabler E2は、マイクロエレクトロニクスを製造するためのオールインワンシステムであり、単一のプロセスに必要な複数のツールの複雑さを軽減する可能性を秘めています。さらに、ユーザーフレンドリーな制御ソフトウェアは、さまざまなプロセス状況で使用できる汎用性と信頼性の高いツールです。正確な制御、ユーザーフレンドリーなソフトウェア、オールインワンの利便性を備えたAPPLIED MATERIALS Enabler E2は、マイクロエレクトロニクス業界に最適なツールです。
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