中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293589575 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2プラットフォームは、高度なエッチング/灰の処理装置です。これは、エッチングと灰のアプリケーションに挑戦するために使用され、柔軟性を向上させるために2つの独立したチャンバーで構成されています。最初のチャンバーはエッチャー、2番目はアッシャーとして機能します。チャンバーは独立して構成および操作することができ、タンデムプロセスでの使用に適しています。チャンバーにはロードロックがあり、チャンバーの内外にウェーハを搬送するために使用され、バッチで処理することができます。また、一貫した再現可能な加工条件を保証する統合真空システムも備えています。AMAT Enabler E2プラットフォームは、高いレベルのプロセス制御を提供するように設計されており、反復可能な結果を達成するのに役立ちます。温度、圧力、RF電力などのプロセス条件、圧力、温度、RPM制御などのチャンバ制御システムの包括的なセットを監視するために、複数のツールを使用しています。これにより、適切な材料除去率と均一性が保証されます。このユニットは、銅エッチング、シリコンエッチング、ウェーハエッチングなど、さまざまな用途向けに設計されています。また、シリコン、ゲルマニウム、低k誘電体などの様々な材料でも動作します。このプラットフォームは、高アスペクト比エッチング、ディープトレンチエッチング、および選択的エッチングなどの要求の厳しいアプリケーションに優れたエッチング均一性を提供します。APPLIED MATERIALTS Enabler E2プラットフォームは使いやすく、メンテナンスも簡単で、すべてのプロセスパラメータはフロントパネルから簡単に調整できます。このマシンには、熱電対および温度センサ制御、インライン粒子モニタリング、およびクローズドループガス分布など、さまざまな安全機能と保護が組み込まれています。結論として、Enabler E2プラットフォームは、高度なプロセス制御と均一性を提供するように設計された高度なエッチング/アッシュ処理ツールです。多種多様な材料のエッチングとアッシングの両方に適しています。