中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9408194 を販売中
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ID: 9408194
Oxide etcher, 12"
TM Module
(3) PM Modules
AC Rack
RF Rack
FI (EFEM):
FI Type: 5.3 FI
MF Platform type: AP
SUPERMICRO GEN3 0090-06587 Server
SUPERMICRO GEN3 0090-06584 Server
EATON Powerware 5115 UPS, P/N: 0190-26019
MKS MACRONODE 0190-22543 FI Ethernet digital I/O
Keyboard video mouse, P/N: 0190-05111
D-LINK 0190-39904 Ethernet switch hub (24-Ports)
Sealevel, P/N: 0190-22545
Fast Data Gateways (FTG), P/N: 0010-25273
Fast Data Gateways (FTG), P/N: 0010-25274
Short flex controller assy, P/N: 0090-06516
Scanner board short flex controller assy:
SST DNET Scanner board, P/N: 0190-34513
MEI XMP Board, P/N: 0190-24445
SBS Serial board, P/N: 0190-11817
GE SBC Board, P/N: 0090-06299
(2) TAKEX SS20-TR40 Light curtains
(3) TDK TAS300 Load ports
(3) OMRON V640-HAM11-V2-1 RFID
YASKAWA XU-RCM6801 ATM Robot
YASKAWA XU-ACP4860 Aligner, P/N: 0190-14752
YASKAWA XU-ACL4230 Track, P/N: 0190-14739
YASKAWA XU-CN1170A Robot controller, P/N: 0190-23873
YAMATAKE 0190-24680 Gas panel temperature controller
Intake plenum enclosure
MF Platform:
NSK VHP TM Robot
NSK ELA-B014CG1-04 TM Robot controller
(2) Cermic dual blades: Low shoe type
ALCATEL A100L Single I-pump
MKS 124AA-00010BB TM Baratron gauge: 10TORR
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-convectron TM vacuum gauge: 10TORR
(2) GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-convectron load lock vacuum gauges: 10TORR
(2) PANASONIC MQDB011AAD03 Load lock indexer controllers, P/N: 0190-19214
(2) Load lock diffusers
STM Diffuser
(2) Load lock vent valves
MKS 640 Auto Pressure Controller (APC): 10TORR
VAT 0190-03234 Slit valve
GME Chamber port assy
Lid, P/N: 0242-23452
Modular DNET IO controller (MDI):
Modular, P/N: 0190-01898
MF Interlock relay, P/N: 0190-02362
MF Interlock relay, P/N: 0190-02363
Loadlock interface, P/N: 0090-01809
Mainframe interface, P/N: 0090-01810
CDN494 IO, P/N: 0190-04745
Analog power, P/N: 0190-01971
Process chamber: A, B and C:
Chamber Control Modules (CCM):
TENTA 0190-02076 Water leak detector board
Interlock board, P/N: 0190-07052
(2) MKS 0190-23509 Quad serial boards
(2) TENTA 0190-07450 Digital I/O boards
MKS 0190-22967 Analog I/O board
SBS 0190-22255 IP Carrier board
SST 0190-16926 Devicenet scanner board
TENTA 0190-24007 SBC Board, 400 Mhz
TENTA 0190-07502 Power supply board
Shower head, 16"
Chamber liner
Cathode liner
Slit liner door
KOLLMORGEN MAG Driver, P/N: 0190-17272
ESC High Voltage Module (HVM), P/N: 0010-16690
NORCAL TPV200 Throttling gate valve, P/N: 0190-25400
NORCAL TPV200 Throttling gate valve, P/N: 0190-25401
Embedded endpoint, P/N: 0010-10663
Ceramic puck, P/N: 0040-63474
MKS DPC HE Controller, P/N: 0010-29436
Vacuum gauges:
MKS Dual range process manometer, P/N: 1350-00201
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-convectron foreline vacuum gauge, P/N: 3310-01200
Vacuum switches:
MKS 41A-21439 ATM Switch, P/N: 0190-01901
MKS 51A-21440 ATM Switch, P/N: 0190-01902
ALCATEL ATH1600M Master turbo pump
ALCATEL ATH1600M Slave turbo pump
ALCATEL ACT1300M Master turbo pump controller
ALCATEL ACT1300M Slave turbo pump controller
NORCAL 3870-01455 ISO Valve
NORCAL ESVP-1503T-NWB-CR ISO Valve, P/N: 3870-03304
ADVANCED ENERGY Ovation 2760 Source RF generator, 0190-17779
DAIHEN RMN-50N1 RF Bias match box, P/N: 0190-15322
DAIHEN AMN-30H RF Source match box, P/N: 0190-15323
Gas panel for chamber A, B and C:
Mass Flow Controllers (MFC):
Size / Make / Model
200 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
200 SCCM / SAM / 2480G1
100 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
300 SCCM / BROOKS AUTOMATION / GF-125C
20 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
20 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
20 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
100 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
1000 SCCM / BROOKS AUTOMATION / GF-125C
200 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
1000 SCCM / BROOKS AUTOMATION / GF-125C
200 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
Mass Flow Controller (MFC) for chamber A and C:
Size / Make / Model
200 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
MKS FRCA-29015 Flow Ratio Controller (FRC):
Size: 1000 SCCM
Type: NEXTGEN 14-Sticks
Weldment type: Single line drop
Etch lean AC power rack, 12"
Power: 600A
Front: 0195-03727
Rear: 0195-03728
(3) ENI GHW-50 RF Bias generators
P/N: 0190-15319
Frequency: 13.56 MHz
(3) MKS B-5002 RF Bias generators
P/N: 0190-15320
Frequency: 2 MHz
Spare parts:
(3) UNISEM RPT6200A Chillers
(3) 13.56 Mhz RF Coaxial cables (79FT), P/N: 0620-02935
(3) 2 Mhz RF Coaxial cables (79FT), P/N: 0620-03165
CHX 485 Communication cable
(3) MAG Driver contactor cables, P/N: 0150-11950
EMO Interconnect 50FT cable, P/N: 0150-02438
(3) RGJP, P/N: 0150-15149
(3) Pump umbilicals, 75FT cable, P/N: 0150-35744
(3) Chamber cooling manifolds, P/N: 0190-22819
(3) E-FIB Insert, P/N: 0190-23662
Monitor rack
Gas panel SLD
Bottom cover
Gas panel exhaust duct
FI Intake plenum
Enclosure
IPUP
Mobile worksation
(3) SUS Pads.
AMAT/APPLIED MATERIALIES AMAT/APPLIED MATERIALIES eMax CT+は、様々な用途に対応できるよう設計された高性能プラズマエッチャー/アッシャー装置です。システムは、各アプリケーションの要求を満たすために複数のプロセスモジュールを提供しています。AMAT EMAX_CT+は、特許取得済みの高密度DC（直流）プラズマソースで動作し、エッチング速度が低く、一貫したプロセス結果を保証します。また、多段RF（無線周波数）バイアス電源を搭載し、選択性とプロセス制御を向上させています。アプライドマテリアルズE-MAX CT+は、デュアルチャンバーのプロセスチャンバーも備えており、より高速なスループットとプロセス歩留まりを提供します。eMax CT+の高密度DCプラズマ源は、10〜400ワットのプラズマ源を生成できますが、RFバイアス電源は最大出力25キロワットです。ソースは、Bas、 BrF2、 F2などのさまざまなガスミックスで、さまざまなニーズに対応するように構成することもできます。AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX_CT+のプロセスチャンバーには、ガス流量を正確に制御するための自動化された比例バルブとともに、正確なガス分布を確保するために可変領域の金属貫通ガスシャワーヘッドが装備されています。AMAT eMax CT+は、パルス制御、パルス高さ解析、高度な制御アルゴリズムを備えた高度なプロセス制御技術を利用しています。これらの機能により、バイアスパワー、圧力、DCおよびRF電力、およびEMAX_CT+プロセスチャンバ圧力などのエッチングプロセスパラメータを正確に制御できます。また、校正用の絶対標準圧力チャンバーを装備しているため、ウェーハの均一性測定にも使用できます。APPLIED MATERIALS eMax CT+は、高度なユーザーインターフェイスを備えており、ツールのパフォーマンスを最大限に高めるための包括的で直感的な統合制御セットを提供します。さらに、埋め込まれたWebサーバーは、ネットワーク接続上のE-MAX CT+への簡単なアクセスと制御を可能にします。この資産は、エラー発生時のダウンタイムを短縮する自動自己診断機能も備えています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS E-MAX CT+は、正確な制御と高スループットを提供するように設計された信頼性の高いプラズマエッチャー/Aserモデルです。装置は、高密度DCおよびRF電源、デュアルチャンバプロセスチャンバー、および高度なユーザーインターフェイスを提供します。高度な制御アルゴリズムと包括的な制御セットを備えたAMAT E-MAX CT+は、エッチングおよびアッシング用途に理想的で費用対効果の高いソリューションです。
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