中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9390469 を販売中
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ID: 9390469
ウェーハサイズ: 12"
Oxide etcher, 12"
(3) Chambers (A, B, C)
MF Platform type: AP
FI (EFEM):
SUPERMICRO GEN3 0090-06587 Servers
EATON Powerware 5115 UPS
MKS MACRONODE 0190-22543 (FI Ethernet digital I/O)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-05111 Keyboard Video Mouse (KVM)
D-LINK 0190-39904 Ethernet switch hub
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22545 Sealevel
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25273 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25274 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-06516 Short flex controller assy
SST DNET Scanner B/D Short flex controller assy
MEI XMP B/D
SBS Serial B/D
GE SBC B/D
(2) TAKEX SS20-TR40 Light curtains
(3) TDK TAS300 Load ports
(3) HERMOS TLG-RS232 RFIDs
YASKAWA XU-RCM6841 ATM Robot
YASKAWA XU-ACP4860 Aligner
YASKAWA XU-ACL4230 Track
YASKAWA XU-CN1170A Robot controller
WATLOW 96 Gas panel temperature controller
AMAT / APPLIED MATERIALS Light tower
AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-81205 Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
NSK VHP TM Robot
NSK ELA-B014CFL-03 TM Robot controller
ALCATEL A100L I-Pump
MKS 124AA-00010BB TM Baratron gauge
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron TM Vacuum gauge
(2) GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron Load lock vacuum gauges
(2) PANASONIC MQDB011AAD03 Load lock indexer controllers
(2) Load lock diffusers
TM Diffuser
(2) Load lock vent valves
MKS 640 Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
(3) TENTA Water leak detector B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) AMAT Interlock B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) MKS Quad serial B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) TENTA Digital I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) MKS Analog I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SBS IP Carrier B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SST Devicenet scanner B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA SBC B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA Power supply B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) Shower heads
(3) Chamber liners
(3) Cathode liners
(3) Slit liner doors
(3) MAG Drivers
(3) ESC High Voltage Modules (HVM)
(3) Throttling gate valves
(3) Embedded endpoints
(3) Ceramic pucks
(6) HE Controllers
(3) Vacuum gauges
(3) Vacuum switches
(3) Pumps
(3) ISO Valves
(3) RF Generators and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+は、半導体デバイス製造におけるさまざまな材料のための強力で現代的なエッチャー/アッシャーです。ウェーハエッチングおよびウェーハアッシングプロセスにおいて、費用対効果が高く、汎用性が高く、信頼性の高い処理を提供するように設計されています。この装置は、処理レシピ、スキャン、およびウェーハ処理を管理するために必要なすべてのコンポーネントを含む制御ユニットと、密閉された真空環境を持つプロセスチャンバーで構成されています。また、高純度、超冷却環境の中でウェーハを搬送する高性能ロボットアームも備えています。AMAT EMAX_CT+は半導体デバイスの製造において数多くの工程で採用されており、エッチングやアッシングのための様々なチャンバー構成に対応できます。単位は高いエッチング率に達することができ、優秀な均等性があります。さらに、エッチングのための調整可能な圧力を持つプロセスチャンバーと、アッシング用のパージガスを備えた石英プロセスチューブを備えています。温度調節器も備えており、加工時の精密かつ均一な温度制御が可能です。アプライドマテリアルズE-MAX CT+ツールは、単一のウェーハエッチングおよびアッシング処理が可能で、メンテナンスを最小限に抑えながら複数のウェーハを同時にエッチングおよびアッシングすることができます。また、酸素誘電エッチングプロセスを使用して、プロセスによって生成される粒子の数を減らし、表面の損傷を最小限に抑えます。さらに、プロセス環境やオペレータを潜在的に危険な化学物質や粒子から保護するための高レベルの安全機能を備えています。AMAT eMax CT+は、モデルの操作を制御、管理、監視するための包括的なソフトウェアパッケージも提供します。直感的で使いやすいタッチスクリーンインターフェイスと、迅速なレシピ作成のための統合レシピエディタを備えています。ソフトウェアパッケージには高度な診断機能も含まれており、ユーザーは問題を迅速にトラブルシューティングできます。結論として、EMAX_CT+は半導体デバイスの製造のための非常に信頼性が高く、効率的なエッチャー/アッシャー装置です。これは、優れたスループットと均一性で、単一の実行で複数のエッチングおよびアッシングプロセスを処理することができます。統合ソフトウェアパッケージは、簡単なレシピ管理と高度な診断を提供し、迅速なトラブルシューティングを可能にします。
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