中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9379801 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+は、最新の高度な技術操作をサポートするために設計された精密プラズマエッチングおよびアッシング装置です。最先端のユーザーフレンドリーなデザインにより、エッチング、クリーニング、アッシング操作において前例のない精度を実現します。AMAT EMAX_CT+は、プロセス性能、高度な監視、迅速なスループット、オペレータの利便性の向上に重点を置いて設計されました。アプライドマテリアルズE-MAX CT+は、業界最高のプロセス再現性と安定性を備えています。優れた精密技術により、ユーザーはナノ深度ステップでエッチング深度を測定し、高アスペクト比アプリケーションで表面精度を維持できます。また、低密度で自由なラジカル豊富なプラズマを提供する革新的なマルチフルードインジェクタとガス分配ユニットを備えています。これにより、表面全体にわたる差動効果を初心者に提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX_CT+は、プロセス環境の比類のない制御と監視を提供します。そのアクティブ温度および圧力制御マシンは、精密な熱および圧力レギュレーションと、エッチングおよびアッシング時に基板からのリアルタイムのフィードバックを提供する革新的な光学モニタリングツールを備えています。アセットはまた、プロセス制御のための最高の定義と再現性を提供します。EMAX_CT+はまた、正確なプロセス監視と制御のためのユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GIU）を誇っています。ワンタッチで、ユーザーはガスフロー、ランツーラン、エッチプロファイルのセットポイントを調整し、さまざまなプロセスパラメータを監視できます。APPLIED MATERIALS EMAX_CT+はまた、迅速なロボット制御材料処理操作を提供します。特許取得済みのロボット制御により、積載、積み下ろし、加工中にキャリアや治具を瞬時に正確に移動させることができます。アプライドマテリアルズeMax CT+は、基板冷却を最適化し、プロセスへの熱影響を最小限に抑える独自の圧力管理技術を提供します。冷却モデルをアクティブ化および非アクティブ化することにより、装置は最適なエッチングおよびクリーニング性能を保証します。EMax CT+は、最大のスループットと精度制御を提供する強力なプラズマエッチングおよびアッシングソリューションです。その包括的でユニークな機能は、さまざまな高度な技術運用に最適なソリューションです。正確なモニタリング、高速スループット、かつ前例のないオペレータの利便性の組み合わせにより、E-MAX CT+はエッチングまたはクリーニングアプリケーションに最適です。