中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9314602 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+は、さまざまな基板の地形を変更して目的の表面仕上げを作成するために使用されるエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは半導体デバイスの製造に適しており、多くの場合、集積回路のバックエンド処理に使用されます。AMAT EMAX_CT+は、アルミニウム、チタン、銅、シリコンなど、基板の地形のさまざまな層をエッチングまたはアッシャーするために使用できます。乾燥またはウェットエッチング、ウェットストリップ、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、電気化学エッチング（ECE）など、さまざまなエッチング/アッシングプロセスを実行できます。このユニットには、エッチング/アッシングツールも追加されており、エッチング時間や温度などのプロセスパラメータを正確に制御できます。アプライドマテリアルズE-MAX CT+には、3段エンドポイント検出（EPD）マシンが装備されています。このツールは、エッチング/アッシング時の基板の抵抗と層の厚さを監視します。EPDアセットのおかげで、プロセスの終了点を正確に予測し、目的の表面仕上げを確実に行うことができます。さらに、EPD装置のパラメータを再設定することなく、同じ基板上で複数のエッチング/アッシングを実行できます。E-MAX CT+は、優れた性能と正確な結果を提供する、大規模で信頼性の高いシステムです。300mmまでのサイズの精密なエッチング/アッシュウエハーが可能で、制御された雰囲気でエッチング/アッシングプロセスを実行できます。さらに、このユニットには、完全に自動化されたローディングおよびアンロード機、ならびにデータロギング、プロセスマッピング、レシピ管理などのさまざまなプロセス監視および制御機能が装備されています。高度な機能により、AMAT eMax CT+は、基板の加工に精度、速度、精度を必要とする業界にとって理想的なエッチング/アッシャツールです。さらに、このツールは使いやすく、メンテナンスも簡単で、AMATの包括的なテクニカルサポートに支えられています。