中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9298224 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+
ID: 9298224
ヴィンテージ: 2007
System 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+は、幅広い先進半導体アプリケーションに高品質の結果を提供するように設計された高性能エッチャー/アッシャーです。これは、メモリ、ロジック、RF、ディスプレイアプリケーションなどの複雑な機能を備えた高度な半導体デバイスの表面をパターン化するために使用されます。このツールは、高度な均一性制御と、接触穴エッチング、ゲートエッチング、およびビアエッチングなどのアプリケーションを可能にするさまざまなエッチングプロセスを備えています。AMAT EMAX_CT+は高度な800MHzプラズマ源を備えており、プラズマエッチング、ACアッシング、ウェットストリッピングを行うことができます。その革新的なガス供給装置は、エッチングプロセスを正確かつ再現性のある制御を提供します。また、高出力の事前測定チャンバは、着信ウェーハの正確な測定を行い、ウェーハのミスマッチに自動的に調整することができます。また、APPLIED MATERIALS E-MAX CT+には最先端のSafety Lockout技術が搭載されており、不正な人員がシステムを動作させないようにしています。このユニットは、スループットとユーザーの生産性を向上させる高度な自動化機能も提供します。AMAT包括的なプロセス制御および診断ソフトウェアパッケージを利用して、エッチング結果をさらに改善できます。最後に、eMax CT+は、低周波(10-80kHz)から高周波(400MHz)まで、幅広いプロセス機能を提供します。これにより、最高のエッチング速度でも、複雑なデバイスで均一なエッチングが保証されます。また、業界初のクラスタ対応エッチャー/アッシャーであり、機械が指定されたプロセスに適した動作パラメータを自動的に選択できる独自の自己評価機能を提供します。APPLIED MATERIALS EMAX_CT+は、スピード、精度、再現性を向上させ、高度な半導体技術に最適な、高度で効率的なエッチャー/アッシャーです。独自の機能と機能により、上級ユーザーはすべての製品で最大のパフォーマンスを得ることができます。
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