中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9271007 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+Asherは、エッチングおよびアッシング用途向けのシングルウェーハ処理装置です。このシステムは、業界で最高のスループットと最高の生産性を提供することができ、顧客は増え続ける歩留まり要件を満たし、コストを削減することができます。AMAT EMAX_CT+は、低量から中量生産に最適で、高精度エッチング、複雑な高アスペクト比の構造のエッチング、アルミニウムとシリコンの優れた選択性など、幅広い製品機能を提供します。アプライドマテリアルズE-MAX CT+は、高度な冷却技術（ACT）アーキテクチャを活用しています。この独自のアーキテクチャにより、単一のウエハ上でのダイ間での効率的かつ均一な熱分布が保証されます。これは、迅速なセットアップと優れたプロセス制御とチューニング機能を可能にします。クローズドループユニットとプロセスコントローラは密接に接続されており、ウェーハ処理を中断することなく、レシピパラメータのリアルタイム監視と調整を可能にします。アプライドマテリアルズeMax CT+は、サブミクロンレベルのフィーチャーサイズ（<0。5 μ m）の誘電体を高精度にエッチングすることができます。カスタマイズ可能なプロセスプログラムにより、エッチングプロセスを微調整し、デバイスの信頼性において重要なパラメーターである正確な層厚制御を実現します。高温範囲（300°Cまで）では、PECVD窒化物などの高温耐酸化物のエッチングや金属とSiO₂の高い選択性が可能です。AMAT eMax CT+は、UV反射、ピロメトリー、蛍光測定など、最大3つのエンドポイント検出技術を選択できます。これにより、お客様はデバイスアーキテクチャに最適な検出技術を選択できます。たとえば、Pyrometryエンドポイント検出は、構造の下部に高い分解能が必要な構造を介して高いアスペクト比に最適です。蛍光エンドポイント検出は、大型構造物のフルフェイスエッチングに最適ですが、UV反射エンドポイント検出は薄膜エッチングに最適です。APPLIED MATERIALS EMAX_CT+は、エッチングとアッシングの両方のアプリケーションに理想的なプラットフォームです。独自のデュアルプロセスチャンバー技術は、精密な機能形成のためのドライエッチングチャンバーと素早い材料除去のためのクリーンエッチングチャンバーの両方を提供し、お客様のサイクルタイムの短縮とプロセス歩留まりの向上を支援します。また、ガスブレンディングマシンを内蔵することで、手動での介入を最小限に抑えながらガスフロー、圧力、ガス供給を最適化することで、お客様の所有コストを削減し、稼働時間を向上させることができます。要するに、AMAT E-MAX CT+は、エッチングおよびアッシング用途向けの信頼性が高く、効率的で正確なシングルウェーハ処理ツールです。高度な冷却技術（ACT）アーキテクチャ、高温エッチング範囲、カスタマイズ可能なプロセスプログラム、およびオプションのエンドポイント検出テクノロジーにより、生産性、精度、信頼性を最大限に高めたいお客様に最適です。