中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9270846 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+は、安価なサイズとコストで信頼性の高いエッチングとアッシング性能を提供するように設計されたデュアルエッチングおよびアッシャー装置です。これは、さまざまなアプリケーションに最適なさまざまな機能と機能を備えています。AMAT EMAX_CT+は、高温エッチングとアッシング機能と、イオンポンプ式真空システムの利点を組み合わせています。それは容易な取付けおよび単位のスループットの付加的な利点との精密で、反復可能なプロセス制御を提供します。このマシンはまた、オプションのレーザースキャンや要求の厳しいアプリケーションのための他の高度な機能を提供しています。アプライドマテリアルズE-MAX CT+は、セラミックス、シリコンウェーハ、III-V化合物、ポリマーなど、さまざまな材料のエッチングとアッシングに適しています。ステンレス製のチャンバー、ターボポンプ、ガスマスフローコントローラで構成されています。ガスデリバリーツールはモジュール式で、圧力と流量を高速かつ再現性があり正確に制御できます。この資産は、効率の向上、運用の柔軟性、およびより高いプロセス歩留まりのために、複数のガスをサポートすることもできます。E-MAX CT+には、いくつかのユーザーフレンドリーな機能もあります。直感的なオンボードユーザーインターフェイスを備えているため、パラメーターを調整したり、リアルタイムでエッチング/アッシュ処理を監視できます。また、自動制御システムと統合するためのリモートコントロールポートも備えています。これらのポートは、現場でのデータの制御、収集、処理、温度の制御、圧力の監視、ロボットスキャンおよびウェハローディングを行う機能を提供します。APPLIED MATERIALS EMAX_CT+には、安全な動作を保証するためにいくつかの安全機能。これは、危険な環境への暴露を防ぐために真空インターロックモデルを備えています。この装置はまた人員および装置を保護するために自動化されたパージおよび通気周期を提供します。最後に、緊急時にエッチング操作を停止するEストップを装備しています。全体的にAPPLIED MATERIALTS eMax CT+は、さまざまなアプリケーションで信頼性が高く、再現性があり、制御可能な性能を提供する優れたエッチングおよびアッシングシステムです。インストールと使用が簡単で、高度な機能があり、さまざまな安全機能が組み込まれています。このように、それは商業および研究の適用の広い範囲のために適した現実的で、信頼できる単位です。