中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9235112 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+Etcher/Asherは、半導体業界におけるエッチングおよびクリーニングの幅広い要件を引き受けるために構築された高度なエッチングおよびクリーンプラットフォームです。この装置は、最新のプラズマエッチング技術を搭載しており、高アスペクト比の穴、浅い溝、サイドウォールに効果的なソリューションを提供します。このシステムは、さまざまなチャンバーサイズとタイプを処理することができ、大小のウェーハのエッチングを可能にします。このユニットは、低応力技術を備えた高周波電源を使用して、高品質のエッチプロファイルを確保しています。十分に荷を積まれたプラットホームに1つの陰極機械と同時に6つまでの大きいウェーハを処理する容量があります。これは、より良いプロセス制御のための調整可能な温度とRF分布を含むウェーハ流域全体の温度制御を持っています。AMAT EMAX_CT+には直感的なHMIが搭載されており、事前にプログラムされたレシピをカスタマイズし、プロセスガスと時間、圧力、温度、およびその他の出力パラメータのパラメータを設定することができます。アプライドマテリアルズE-MAX CT+ツールは、MEMS包装用のSiO2エッチング、ウェハダイシング、パッシベーション層などの用途に最適です。また、ウェットやドライクリーニングなどのポストエッチング残留除去プロセスにも適しています。この資産は、従来のシステムよりも堅牢で信頼性が高いように設計されており、生産グレードのサイクリング時間に理想的なプラットフォームとなっています。EMAX_CT+モデルは、高度な安全性、効率、および制御機能によって駆動されます。それは穀物印の出現を減らす自動穀物認識が装備されています。それに異常なガスの使用および貯蔵所の圧力を検出し、監視する作り付けのガス警報機能があります。自己検査機能により、自動定期セルフテストが可能になり、機器の管理が向上します。また、ガス流量モニターとガス消費量モニタリングを搭載し、ガス使用量を削減します。メンテナンスが容易で交換可能な部品と相まって、時間とコストを削減します。E-MAX CT+は、精密エッチングおよび洗浄アプリケーションに最適なソリューションです。優れたエッチプロファイルとプロセス制御を提供し、幅広いウェーハおよびアプリケーションに対応します。堅牢な設計、直感的なHMI、高度な安全性と制御機能、交換可能な部品により、アプライドマテリアルズEMAX_CT+半導体製造および研究に理想的なエッチャー/アッシャーです。