中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9193737 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+は、さまざまな半導体プロセスに使用される高性能エッチャー/アッシャーです。この装置は、高効率の二重周波数エッチングおよびアッシング技術を使用して、選択性、プロセスの均一性、および低い所有コストを向上させます。CT+には、高度なInterca-TMベースの光学制御システムが搭載されており、ウェーハ間の正確な制御が可能で、幅広いエッチパラメータ設定が可能です。AMAT EMAX_CT+アッシャーは25〜200mmのターゲット基板エッチングが可能です。高圧、低圧、可変圧力のアッシング、熱アッシング、エッチングなど、幅広い機能を備えています。そのオートチューニングユニットは、任意のプロセスのアッシング処理条件をすばやく最適化します。CT+は、他の同様のシステムよりも高速なエッチング速度を達成することができ、フットプリントが小さいため、大量のウェーハ処理に最適です。このマシンはクラス10のクリーンルーム対応ハウジングに囲まれており、有害な製品をオペレータから遠ざけるために高流量のポンプ式エンクロージャを使用しています。そのプロセスステーションはクリーンルーム対応のロボットアームに取り付けられており、ウェーハリフトピン、ドライブスピンドル、マスク加工、調整可能なノズル構成などのツールへの入力が含まれています。プログラム可能な熱い版は精密なエッチングの停止制御およびashing温度の安定性を可能にします。アセットのCF4ガス入力はフロー制御され、最適なプロセス条件を維持するために監視されます。アプライドマテリアルズE-MAX CT+は、半導体エッチング、フォトレジスト除去、マスク、フォトレジスト露出、アッシング、クリーニング、酸化など、幅広い用途に適しています。アニール・活性化、金属成膜・エッチング、ポストプラズマ処理、薄膜成膜に使用できます。このモデルは低消費電力で動作し、コスト効率が高く環境に優しいソリューションのために廃棄物を最小限に抑えます。小型で高効率なため、大量のウエハ加工に最適です。