中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9189026 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+は、半導体製造プロセスで精密な結果を提供するように設計された精密ドライエッチングおよびアッシャーソリューションです。この強力な統合ドライエッチングとアッシャーシステムは、高度なプラズマプロセスとウェーハ転送の自動化を備えており、生産性と均一性の向上を実現しています。このシステムは、1つのチャンバーに低圧、高出力、磁場参照を組み合わせた画期的なプラズマプロセスを利用しています。これにより、高いエッチング選択性、優れた均一性、および高いスループットのユニークな組み合わせが得られます。自動化されたウェーハ転送により、各ウェーハがエッチングチャンバーに正確に配置され、複数のステージを追加することで、エッチングとアッシングプロセスが完全なエッチング時間とエッチングの再現性の両方を正確に制御することができます。さらに、統合されたクローズドループモジュールは、高度な自動化と柔軟性を備えているため、AMAT EMAX_CT+半導体業界のさまざまな硬質材料の迅速な製造と加工に最適なソリューションです。クローズドループモジュールを利用することで、圧力、バイアス、電力などのエッチングパラメータを必要な性能基準に自動的にチューニングできます。これにより、チャンバー温度や処理中のウェーハの数に関係なく、一貫した結果が得られます。さらに、ウェーハサイズが異なる場合でも均一性を保つように設計されており、高い歩留まりと再現性を確保しています。統合された視覚化および最適化ツールにより、アプライドマテリアルズのE-MAX CT+は、市場で最も正確なドライエッチングおよびアッシャーソリューションとなります。制御ユニット内のプラットフォームに依存した診断により、エッチングの選択性とウェーハ温度をリアルタイムで監視できます。これは、プラズマプロセスパラメータの問題を迅速かつ正確に特定し、修正することができることを意味します。さらに、モンテカルロ解析や2次元シミュレーションなどの統合された分析ツールは、オペレータに詳細なシステム解析を提供し、パフォーマンスのための最も最適な条件を迅速かつ最小限のオペレータ介入で識別できるようにします。AMAT E-MAX CT+は、高度なプラズマ加工技術、自動化されたウェーハ転送、統合された診断および最適化ツールの組み合わせにより、半導体産業における精密なエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。