中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293753868 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+は、512°Cまでの高い信頼性とプロセス温度のために設計されたエッチャー/アッシャー装置です。それはエッチングおよび灰モードおよび高い均等性の両方のためのRF力、圧力および温度調整を統合しました。このシステムは、高いエッチング速度と基板の損傷を最小限に抑えるために最適化されています。このユニットには、エッチングまたはアッシング中に正確な位置決めとスキャンを提供する高精度の移動チャックが装備されています。これは、優れたプロセスの均一性を達成するのに役立ちます。また、優れた電力供給と安定性を提供するRF発電機を備えています。これは、様々な材料エッチング用途の優れた選択性とともに、高いエッチング率を達成するのに役立ちます。マシンはSABREコントローラーで動作します。この高性能コントローラは、正確で信頼性の高いプログラミング、正確な圧力および温度制御、および使いやすいヒューマンマシンインタフェース（HMI）を提供するように設計されています。また、リアルタイムの統計的プロセス監視、自動サンプル認識、レシピ最適化機能も提供します。このツールはまた、エッチングおよびアッシング処理を最適化するために設計された幅広い機能を提供します。これは、一定レートエッチング、リニアまたはプログラム可能なp-tプロファイル、および選択可能なマスクモードなどの選択可能なエッチプロファイルを提供します。また、温度検出とエッチング速度制御をサポートし、プロセスの安定性を最適化します。高度なクローズドループ温度制御モデルにより、基板全体の温度が非常に均一になります。さらに、プロセス監視、チャンバーガスの動き検出、高度な基板応力解析など、高度な診断機能を備えています。また、予期しないプロセスエクスカーションの場合でも安全な動作を確保するのに役立つ高度な安全インターロックが含まれています。全体として、AMAT EMAX_CT+は、優れたプロセス安定性、均一性、選択性、信頼性を提供する高度なエッチャー/アッシャーシステムです。幅広い素材のエッチングやアッシングに最適です。