中古 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293587502 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+は、高精度のエッチングおよびアッシング処理を容易かつ効率的に行うように設計された高度なエッチングおよびアッシング・システムです。このマシンは、高度なプロセスとソフトウェア制御を備えたハイエンドエッチングとアッシングシステムを1つの統合プラットフォームに統合するツールです。AMAT EMAX_CT+機は、精密エッチングとアッシングのオールインワンソリューションです。一貫したエッチング深さと均一なエッチングマイクロトポグラフィを提供し、Si、 GaAs、 CdSなどの粒子のレジストストリッピングとエッチングのレシピパラメータを蒸着およびエッチングするプロセス制御オプションを提供します。本機にはリバースパルス発生器が内蔵されており、イオンビームエッチングプロセスにおける再現可能な時間と時間を実現します。Sub-1µm精度と0.05µm精度により、簡単な幾何学的エッチング作業から高精度を必要とする高度な研究プロジェクトまで、用途に最適です。ソフトウェア自動化装置は、運用コストを削減し、プロセス全体のパフォーマンスを向上させるように設計されています。さまざまな機能、ソフトウェア、および制御は、困難で敏感な基板であっても、望ましいエッチングパラメータとプロセスが維持されるように設計されています。ユーザーフレンドリーなフロントパネルは、レシピ、パラメータ、動作条件、アラーム、およびプロセス統計に簡単にアクセスできます。セットアップウィザードと統合診断機能により、操作がさらに簡素化されます。応用材料E-MAX CT+に粒子および蒸気への人員の露出を最小にする高度の安全特徴が付いている閉鎖した部屋があります。それは厳密な安全および操作上の条件を満たすように設計されています。さらに、エッチングはエッジアイソレーション、電圧モード技術、およびソフトウェア安定化パラメータに従って実行され、最適化されたプロセス結果が保証されます。ユーザーの介入は、エッチングチャンバーの内側ライニングを定期的に交換するためにのみ必要であるため、メンテナンスとサービスの手順は迅速かつ簡単です。E-MAX CT+は、各エッチングセッションの前にプロセスチャンバーの組み立てとテストを自動化し、精度と信頼性を確保しながらシステムのセットアップ時間を短縮します。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS E-MAX CT+etching-およびashing-システムは、1µm精度、再現可能な結果、最大プロセス制御を要求するエッチングおよびアッシングプロセスに最適なソリューションです。統合されたリバースパルス発生器、プロセス制御、セットアップとメンテナンスの容易さにより、このマシンは高度なエッチャーに不可欠なツールです。