中古 AMAT / APPLIED MATERIALS EFEM for etcher #9376103 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALSエッチャー用EFEMは、さまざまな業界のニーズに対応するように設計されたフル機能のエッチング装置です。EFEMは、高スループット、高精度層厚さ制御、および消耗品の低消費電力により、高精度エッチング用途に柔軟かつ手頃な価格のソリューションを提供します。EFEMシステムは、複数のウェーハサイズをエッチングすることができる真空チャンバーを備えており、2軸機械段階を備えているため、チャンバー内にウェーハを配置することができます。RFジェネレータは、ウェーハ表面に材料をエッチングするために使用されるチャンバーに電力を供給します。ガスボックスはエッチング処理のための制御された雰囲気を提供し、真空マニホールドはチャンバーの圧力と流れを調節します。また、EFEMは、ウェーハをチャンバからロードおよびアンロードできるロードロックユニットを備えています。この機械はエッチング室との人間の接触を除去し、空気中の粒子を減らし、エッチング結果を改善するのを助けます。また、ロードロックツールにより、複数のウェーハをシーケンスで処理することができ、スループットを向上させ、高精度エッチングのための効率的な処理を可能にします。この資産は、高効率のRF発電機と低消費電力ガスボックスを備え、非常に効率的で生産的であるように設計されています。RFジェネレータは優れたエッチング率と均一性を提供し、最終製品が最高品質の基準を満たしていることを保証します。ガスボックスは消耗品を少量消費し、エッチング処理に伴うコストを削減します。EFEMには計測モデルが内蔵されており、エッチング速度、臨界寸法（CD）制御、厚さ制御、層表面品質など、さまざまなパラメータを測定できます。エッチングプロセスを監視し、パラメータを調整してエッチング性能を向上させることができます。エッチャー用AMAT EFEMは、高精度エッチングの費用対効果の高い製造に最適です。これは、信頼性が高く、効率的で正確であるように設計されており、優れたレイヤー制御、均一なエッチング、および高速スループットを提供します。システムの高度な技術と機能は、経済的で信頼性の高いエッチングソリューションを探している企業にとって理想的な選択肢です。