中古 AMAT / APPLIED MATERIALS E-max #9181384 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS E-maxは、高度なウェーハパターニングアプリケーションをサポートするように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。AMAT E-maxエッチャー/アッシャーは、エッチング、アシュプラズマ、およびRIE（反応イオン乾燥エッチング）プロセスを1つのシステムで組み合わせます。これにより、高い生産性、優れたプロセス再現性、および最小限のメンテナンスを備えたウェーハ処理のためのダイナミックなアーキテクチャを提供します。ユニットアーキテクチャは、2つの並列サブシステム、生産コアとテストコアで構成されています。生産コアはプロセス雰囲気、ロード/アンロード、プロセス制御を提供し、テストコアはプロセス開発および生産バッチの検証に使用されます。アプライドマテリアルズE-maxは、効率を向上させ、歩留まりを向上させるための多くの高度な機能を提供します。スパッタリング損傷を最小限に抑え、灰の堆積を最小限に抑え、高効率アシュプラズマプロセスをサポートします。高度なマルチゾーン処理とマルチラジオフリークエンシー電源を使用することで、プロセスの均一性がさらに向上します。また、リアルタイム診断ツールを搭載し、プラズマ環境の現場診断機能を提供し、プロセスの最適化と改善を可能にします。高度なプロセス能力に加えて、E-maxは、低コストで高効率なパーティクルフリークリーニングを可能にする高度なin-situクリーンチャンバー技術を特長としています。これにより、汚染物質をその場で除去できるため、ウェーハ処理のコストを大幅に削減でき、別々の処理ステップで手動洗浄の必要性を減らすことができます。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALS E-maxは、さまざまなMES/SAPシステムと統合するための完全なプロセス自動化および統合ソリューションを提供します。これにより、ウェーハ処理中のリアルタイムのデータ取得とプロセス制御が可能になり、精度とプロセスの最適化が可能になります。AMAT E-maxは、ウェーハ処理のための信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。高度なエッチング、アシュプラズマ、およびRIE機能により、プロセスの再現性と現場での洗浄が可能になり、コストを削減できます。アセットのリアルタイム診断およびオートメーションソリューションは、精度とプロセスの最適化を可能にします。これらの機能はすべて、アプライドマテリアルズのE-maxを、あらゆる高度なウェーハ処理アプリケーションのための強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャーにします。