中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS2 #9298479 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2は、高品質の誘電性および金属エッチング用途を提供するエッチャー/アッシャーです。AMAT DPS2は、生産環境における様々な材料の効率的で再現性が高く、費用対効果の高いプラズマエッチングを可能にします。このアッシャーは、大規模なウェーハやパネルにおいても、優れたエッチング均一性を生み出す様々なプラズマエッチパラメータで特別に設計されています。アプライドマテリアルズDPS2は、汎用性の高いエッチャーです。それはすべてのタイプのスロットダイおよびテープ取付けられたエッチツールと完全に互換性があります。金属と誘電体の両方の層をエッチングするために使用できるエッチングレシピの広い範囲を可能にします。DPS2は、バッチからバッチへのプロセス変動を最小限に抑え、精密かつ再現可能なエッチングを可能にする高度な制御システムで動作します。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2には特許取得済みのエッジトラッキングシステムが装備されており、ウェハエッジと表面全体にわたるリニアエッチング速度を保証します。このシステムは、マイクロホールの均一な密度のための均一なエッチプロファイルを可能にし、特徴のより良い寸法制御、およびより高い生産歩留まりを可能にします。AMAT DPS2はコンパクトでありながらパワフルなエッチャーです。そのコンパクトな設計は、標準的な生産エンクロージャ内にフィットし、その保護コーティングは反応性ガスに対して耐性があります。APPLIED MATERIALS DPS2には、サーマルロック、排気シャント、プロセスモニターポートなどの安全機能が搭載されています。このエッチャーはまた、動作中に安定した雰囲気を確保し、汚染を防ぐペルティエのクーラー設計で効率的な冷却手順を提供します。DPS2は低メンテナンスアッシャーです。それは最小限のオペレータ介入を必要とし、長いワーキング・ライフを持っています。高いプロセス信頼性は、独立したコントローラユニット、プロセス制御ボード、ソフトウェアプログラムなど、いくつかのソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントによって達成されます。これらのコンポーネントはすべて定期的に監視および更新され、信頼性の高いエッチングプロセスを保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2は、費用対効果の高い高性能エッチャーです。高精度で再現性のある金属層や誘電層の高品質エッチングを実現します。AMAT DPS2は、効率的で正確なエッチングソリューションを必要とするあらゆる生産環境に最適なソリューションです。