中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9396746 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPSは、マイクロエレクトロニクス製造用に設計された自動ドライエッチャー/アッシャーです。プラズマベースの物理蒸着（PVD）技術を使用して、小さな複雑な部品を洗浄、平面化、エッチングすることができます。AMAT DPSエッチャーは、非常に精密なビームを使用して超短時間で小さな特徴をエッチングするように設計された回転マグネトロンスパッタ源に基づいています。特許取得済みのイオンビームテクノロジーを使用して、集中制御されたプラズマフローを生成し、小さな特徴やその他の関心領域をターゲットにします。応用材料DPSエッチャーは、その位置を正確に監視し、スパッタリング用の均一なイオンビームを提供するのに役立つ受動磁気コーンを使用しています。また、自動プラズマ圧力装置を使用して、プラズマガス、真空レベル、およびプラズマフローのイオン化を監視します。自動化された制御システムは、圧力、蒸着速度、およびプラズマエミッタパラメータを制御し、手動での介入を最小限に抑えて、非常に反復可能で均一な結果を達成することができます。さらに、エッチャーには高精度のセグメント温度センサーが搭載されており、3次元環境における部品の再現可能なアライメントを可能にします。このユニットは、気体前駆体およびポストプラズマ用のチャンバーを備えたマルチガス機能も備えており、複数の層の堆積に不可欠です。追加機能として、対象部品からの熱を分散させ、エネルギーをより均等に分散させ、急速な熱変化から生じる熱衝撃を防ぐ熱減少機能を内蔵しています。DPSエッチャーは、グラフェンからアルミニウムまで、ほとんどの蒸着材料と互換性があるように設計されています。その熱安定性は、極端な温度に対応できることを保証し、ドーピングや金属蒸着などの高度なプロセスに適しています。さらに、安全でない場合の自動シャットオフを含むタイトな安全メカニズムを備えています。また、基板間のクロスコンタミネーションを回避するための自動汚染制御ツールも備えています。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS DPSは、マイクロエレクトロニクス生産に強力で汎用性の高いドライエッチングおよびアッシングツールを提供します。高精度、再現性、均一な成膜を可能にする自動化された制御アセットを搭載し、より経済的な自動エッチャーの1つであり、大量生産のための信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。