中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9271246 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS （Deposition and Etcher/Asher）装置は、半導体産業で大量の高収量の生産に使用される最も信頼性が高く、汎用性の高いエッチングおよびアッシング・システムの1つです。このシステムは、ポリシリコン、二酸化ケイ素、金属など、さまざまな材料をエッチングするために使用できます。また、ウェーハから不要な材料を除去するプロセスであるアッシング処理にも使用できます。AMAT DPSユニットの高品質で高収率の生産は、デュアルエッチング/アッシュプロセスチャンバーなどの優れた機能により、2つのウエハを同時に処理できます。また、高度なシングルウェーハ温度コントローラを使用しており、エッチングおよびアッシングプロセス中にウェーハが均一に保たれます。さらに、APPLIED MATERIALS DPSツールには、エッチングとアッシングに使用可能な最先端の強力なツールが装備されています。このアセットは、幅広いエッチング化学をサポートし、高度なアルゴリズムを使用して各材料のエッチングおよびアッシングプロセスを最適化できます。これにより、エッチングおよびアッシング処理後に欠陥のない高品質の基板が保証されます。DPSモデルは、化学蒸着（CVD）などの他のアプリケーションにも使用できます。CVDはポリシリコンなどの金属を基板にコーティングするために使用され、AMAT/APPLIED MATERIALTS DPS装置はこれらの材料を最高の歩留まりで堆積させることができます。AMAT DPSシステムは、高度に制御された反復可能なエッチングとアッシングプロセスを可能にします。このユニットは、ガス分配機を使用して、すべての基板表面にプロセスガスの均一な分布を提供します。さらに、このツールは、プロセス全体にわたって一貫したガスの流れを確保するために、閉じたループフローコントローラで設計されています。これにより、エッチングおよびアッシングプロセスの圧力と流量が常に制御され、各材料に最適な結果が得られます。全体として、APPLIED MATERIALTS DPSアセットは、幅広い業界向けの信頼性と汎用性の高いエッチングおよびアッシングツールです。これは、ユーザーに最大の収率、精度、再現性を備えた膨大な種類の材料をエッチングしてアッシュする機能を提供します。