中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9209124 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPSエッチャー/アッシャーは、特殊な部品や半導体デバイスを作成するために使用される真空圧力エッチャー/アッシャーの一種です。堅牢で信頼性が高く、反復可能なエッチングおよびアッシングプロセスであり、すべての厳しい業界アプリケーション要件を満たしています。AMAT DPSは、プラズマソース、試薬シリーズ、チャンバーコンポーネント、プロセスガス、制御エレクトロニクス/GUIソフトウェアを収容する単一のキャビネット設計を備えています。アプライドマテリアルズDPSは、金属、酸化物、窒化物、および低k誘電体フィルムを含む幅広い産業用半導体材料で高品質、反復可能なエッチングおよび灰の結果を生成することができます。このマシンには、チップの故障や歩留まりの損失につながる可能性がある「エッジ効果」なしで、ウェーハのすべての領域でより均一なエッチングとアッシングを可能にする大きなチャンバーが付属しています。DPSによる自動化されたサイクル制御により、一貫したバッチ・ツー・バッチの均一性を実現するために不可欠なプロセスパラメータが維持されます。DP Etcher/Asherを使用すると、チャンバーの圧力と温度を自動的に調整でき、毎回より正確なエッチング/灰を得ることができます。また、幅広いプロセスウィンドウにより、幅広い素材や基板のエッチングに適しています。エッチャー/アッシャーには、プログレッシブソースコントロール機能が搭載されています。これにより、ユーザーは、処理中のアプリケーションに基づいて、プラズマ源、試薬、およびガスの力を選択的にブレンドすることができます。これにより、正確で効率的なエッチング/アッシングが保証されます。このユニットには、直接供給ガス分配システムが付属しており、プロセスガスをプラズマチャンバーに正確に右および量で供給します。これは、微調整プロセス制御用のカスケードガス組成制御と組み合わされています。自動化機能を備えた直感的なHMI （Human-Machine Interface）と、簡単なプロセス設定と調整のためのグラフィカルユーザーインターフェイスデータベースにより、このマシンは非常にユーザーフレンドリーで信頼性が高くなります。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS DPSには、部品を損傷や予期しないエッチング/灰の結果から保護するための安全機能が内蔵されています。これには、インターロック、圧力センサ、コンセントガスフロー検出器、およびターンオフ安全センサーが含まれます。結論として、AMAT DPS Etcher/Asherは、高品質の精密部品と半導体デバイスを作成するために使用される効率的で信頼性が高く、費用対効果の高いエッチング/アッシングシステムです。堅牢な機能、信頼性の高い制御、ユニークなユーザーインターフェイスにより、優れた再現性と高いスループットを実現します。さまざまな安全機能により、部品がプロセスで損傷しないようにします。