中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747939 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS DPS （Dry Plasma Strip）は、エッチングやアッシングに使用される機器です。プラズマと乾燥酸素を組み合わせて、ウェーハ、マスク、マスクなどの基板表面を磨き、パターン化します。ウエハ表面から有機・無機・高分子材料の薄層を除去する専用エッチャーです。乾燥したプラズマ除去プロセスは、エネルギー源としての活性ガスまたは陽性ガス、典型的には酸素から始まります。その後、ガスは対称的に非常に高い周波数にパルスされ、プラズマが発生します。プラズマを真空チャンバーに注入し、ウェーハと基板表面を一定時間プラズマにさらします。これにより、堆積した分子や表面有機物が表面から剥離されます。残された粒子は機械の排気システムで運び出されます。エッチングとアッシングは、AMAT DPSの1つのプロセスで行われます。アッシング処理は、通常、エッチング後に残された残骸や残骸を除去するため、エッチング処理が完了した後に行われます。このプロセスは、基板表面の最上層を清潔で滑らかにし、基板の接着、表面形態、および電気特性を改善します。さらに、APPLIED MATERIALTS DPSエッチャー/アッシャーは、高効率で動作するように設計されています。エッチングとアッシングのプロセスは迅速に完了でき、結果は一貫して再現可能です。DPSは、均一で一貫したエッチングおよびアッシングプロセスを提供することにより、すべてのウェーハおよび基板表面の最高レベルの品質管理を保証します。要するに、AMAT/APPLIED MATERIALTS DPS Dry Plasma Stripは、ウェーハ表面および基板表面のエッチングおよびアッシングに最適なエッチングおよびアッシングマシンです。プラズマと乾燥酸素の組み合わせを使用して、有機、無機、および高分子材料の薄い層を表面から剥離します。さらに、高速プロセスと均一な結果により、高いレベルの品質管理と均一性が保証されます。