中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747938 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPSは、さまざまな材料を沈殿、エッチング、ストリップ、および/またはアニールするように設計されたパラレルプレートのエッチング/アッシャーです。エッチング/アッシャーは、バッチからバッチへのエッチプロセス実行から再現可能な結果を可能にするレシピでプログラムされています。AMAT DPSシステムは、自動化されたプロセス制御、レシピオートメーション、診断、最先端のプロセスハードウェア、使いやすいオペレータフレンドリーインターフェイスを組み込んだ高度なプロセステクノロジーを提供します。アプライドマテリアルズDPS装置は、オプションの高周波バイアス、自動サンプル積載、大気プラズマクリーニング、排気フィルタなど、幅広い構成オプションと機能を提供します。DPSシステムは、均一性、再現性、および高い生産スループットのために設計されています。迅速なサイクルタイムを特長とするAMAT/APPLIED MATERIALS DPSは、正確な再現可能なプロセス制御とバッチからバッチまでの再現可能な結果を保証します。デジタルプロセス制御システムにより、エッチングのプロセス条件を正確に制御し、均一なエッチングまたは成膜結果を得ることができます。AMAT DPSシステムは、サンプルの配置と移動のための優れたウェーハ処理技術を備えています。この高精度ウェーハアライメント技術は、自動化された上下ウェーハホルダーを使用して、サンプルの正確な配置と、ごくわずかなウエハボウによる移動を実現します。サンプル操作ユニットは、正確なウェーハ回転とリフトオフ制御も備えています。アプライドマテリアルズDPSシステムは、統合された機器制御、レシピスクリプティング、およびパフォーマンス監視も備えています。より高度なDPSシステムは、カメラベースの自動サンプル位置決定と自動化されたポストエッチングクリーニングを備えており、再現性の高いエッチング結果をさらに保証します。統合された診断マシンにより、潜在的なプロセスの問題を即座に特定できます。AMAT/APPLIED MATERIALS DPSシステムは、HEPAフィルタリング排気工具や自動ガス排出管理資産をトラップするパーティクルトラップなどの清浄性と安全性も備えています。AMAT DPSシステムには、オプションのインプロセスOES監視モデルがあり、エッチングプロセスの結果をリアルタイムで監視できます。アプライドマテリアルズDPSシステムは、費用対効果の高いモデルから洗練されたモデルまで、シリコン、石英、二酸化ケイ素、ポリシリコン、ヒ素ガリウム、アルミニウムなど、幅広い材料をエッチングすることができます。