中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747936 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPSは、ウェーハの加工に使用されるレジストアッシャー/エッチャーです。ウエハーの表面に残留材料の層をエッチングするために2つのガス源を使用しています。最初のガスは酸素ベースのガスで、材料の炭素結合を分解し、下のシリコンフィルムを露出させることでレジスト除去を容易にします。2番目のガスはハロゲンベースのガスで、エッチング剤として機能し、露出したフィルムをエッチングします。ハロゲンベースのガスはシリコンフィルムと反応してハライドイオンを形成し、酸素ベースのガスと反応して揮発性化合物を形成し、排気によって除去されます。AMAT DPSは、高度な半導体デバイスの製造に広く使用されています。フォトレジスト除去、化学機械平坦化（CMP）、原子層成膜（ALD）など、さまざまな研究および生産プロセスにおける重要なツールです。また、メモリチップ、ロジックゲート、トランジスタ、太陽電池などのデバイスの製造にも使用されています。応用材料DPSは2つの異なる部分で構成されています。1つ目は、装置の残りの部分から分離され、処理が行われるチャンバーです。この部屋は基質にガスおよび他の化学薬品が導入されるところである。2番目の部分は、通常、注入ノズルとヒーターで構成される配達システムです。注入のノズルはウェーハに正確にガスを指示するのに使用され、ヒーターは化学薬品が望ましい区域をエッチングするようにウェーハを熱するのに使用されています。DPSにはフィードバック制御ユニットも装備されており、あらゆるプロセスで一貫性と正確性を確保しています。これは、望ましいパターンがエッチングされ、残留物が正確に除去されるようにするのに役立ちます。機械にまたエッチングのプロセスの間に矛盾をユーザーに警告する欠陥検出および警報報告機能があります。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS DPSは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造において強力で信頼性の高いツールです。洗練された制御機械と正確なエッチングにより、この機械は将来のデバイスと製品の開発と製造に不可欠です。