中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS Poly #9303002 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Polyは主に半導体製造業界で使用されるエッチャー/アッシャーです。これは、化学蒸着（CVD）チャンバー内でウェーハを提供する加熱ポリエチレン輸送タンクで構成されています。このチャンバーには、プレヒーター、RF発電機、基板、マッチコイルなどが装備されています。AMAT DPS Polyは、単一のチャンバー内に複数のプロセスを持っており、優れたエッチングと蒸着プロセスの結果を提供することができます。この装置は、デュアルヘッド、リアクティブイオンエッチング（RIE）技術、および半導体表面を強化するための化学機械研磨（CMP）プロセスを備えています。システム内の2つの独立したヘッド設計により、金属層と誘電層を同時にエッチングすることができます。このユニットには、ユーザーがさまざまなエッチングプロファイルステップ、およびチャンバーの温度と圧力をプログラムできるプログラマブルコントローラも含まれています。これにより、温度、圧力、RFパワーレベルを設定することで、エッチングおよび蒸着プロセスを正確に制御できます。RFジェネレータは、プラズマエッチング動作中に定常RFとパルスRFの両方を生成します。プログラムコントローラで調整可能なマッチコイルを使用して、プラズマエッチング動作中のインピーダンス変動をルーティングするルートを制御します。APPLIED MATERIALTS DPS Polyのスループットを高めるために、AMATは「基板カスケードローダー」を実装しました。これにより、2つの基板が同時に任意のプロセスを経ることができます。この方法は、全体的な処理時間を大幅に短縮することが知られています。APPLIED MATERIALS for DPS Polyが開発したソフトウェアも使いやすいです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、エッチングまたは蒸着プロセスごとにレシピをすばやく入力できます。このソフトウェアは、チャンバー温度、圧力、およびRFパワーレベルのリアルタイム監視も提供します。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Poly etcher/Asherの特徴は、成膜とエッチングの両方を処理できる多機能機械をお探しの方に最適です。基板カスケードローダ、デュアルヘッドRIE、プログラマブルコントローラ、および使いやすいソフトウェアなどの堅牢な機能を提供します。これらの機能により、AMAT DPS Polyは半導体業界で最も広く使用されているマシンの1つになりました。