中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS Mesa #293662766 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Mesaは、業界をリードするエッチング/アッシュシステムの1つです。この装置は、エッチングまたはアッシング用の高性能で一貫した信頼性の高いプロセスを提供します。AMAT DPS Mesaは、望ましいプロセス結果を達成するために、最新のリソグラフィ技術を利用しています。このシステムには、20ナノメートル以下の解像度を実現する高解像度のダイレクトプロジェクションプリント(DPP)リソグラフィ技術が含まれています。アプライドマテリアルズDPS Mesaは、デュアルビームソースを使用して、さまざまなウェーハサイズと厚さの均一で均一なエッチングを製造しています。また、高密度オーバーレイ機能を備えており、正確なオーバーラップにより均一で一貫したギャップサイズを実現します。DPS Mesaは、1時間あたり最大100個のウェーハで高速ウェーハ処理を提供します。標準のFOUP (Front Opening Unified Pod)ハンドラと完全な互換性を備えた自動ウェーハローディング、およびオープンエアのウェーハトランスポートシステムのオプションを備えています。このマシンには寛大なメンテナンスサービスも含まれており、最大のアップタイムとプロセスの信頼性を確保するために24時間のテクニカルサポートを利用できます。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Mesaは、深い狭い溝から浅いグローバルエッチングとクリーニングまで、幅広いエッチングとアッシングを製造することができます。また、ミディアムおよびディープトレンチリソグラフィープロセスのための多数のプロセスオプションがあります。このツールは、ドライエッチングやウェットエッチングなど、さまざまなエッチング化学製品と互換性があります。また、高度なプロセス制御ツールを備えており、エッチング/アッシングプロセスを正確に制御できます。AMAT DPS Mesaは、メンテナンス時間とコストを最小限に抑えるように設計されており、その実績ある高速信頼性により、低コストで高効率なパフォーマンスを実現しています。この資産は、長期的な信頼性と最大の性能とプロセス効率を確保するために、耐久性のある材料を使用して構築されています。多様なプロセスパラメータを満たすプロセスパラメータの柔軟性を提供します。このモデルは、エネルギー効率とノイズ低減機能も認められています。全体として、APPLIED MATERIALS DPS Mesaは、利用可能な最も先進的なエッチング/アッシュシステムの1つです。比類のない精度、パフォーマンス、信頼性を提供し、ダウンタイムと最大効率を最小限に抑えた信頼性の高いプロセスを実現します。この装置は、高品質で構築されており、幅広いアプリケーションやプロセス部品を処理することができます。そのエネルギー効率とノイズ低減機能は、最高のパフォーマンスとプロセス効率を求める人に最適です。
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