中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9379759 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIは最先端のエッチャー/アッシャーツールです。先進のプラズマ技術により、金属から半導体まで、さまざまな材料の高精度エッチングとアッシングの両方に対応しています。AMAT DPS IIは、多種多様な材料の効率的なエッチング/アッシングだけでなく、最適なエッチングまたは灰のための正確なパラメーター調整で優れたプロセス制御を提供します。これにより、高いプロセス再現性を実現し、期待以上の表面品質を維持しながら高アスペクト比の構造を実現します。アプライドマテリアルズDPS IIは、高出力電力、優れた長期プロセス安定性、および高いウェーハスループットにより設計されており、ユーザーは最高のウェーハ表面歩留まりを達成することができます。使いやすくユーザーフレンドリーな設計により、オペレータは生産性を最大限に高めることができます。DPS IIは高圧、低圧、および出口圧力部屋を含んでいます。高圧チャンバは、ウェーハエッジ上に低スパッタバック散乱した高速エッチングおよび信頼性の高い再現性エッチング用に設計されています。低圧チャンバーは、エッチング前にプリクリーンチャンバーとして機能し、優れた均一性を実現する2ゾーンプロセスのアッシャーとして機能します。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIには、プロセス温度を安定化し、エッチング/アッシングの再現性と均一性を向上させる温度制御システムが内蔵されています。また、エッチングやアッシング時にウェーハ表面にプラスイオンが蓄積するのを防ぐためのスタティックニュートラライザーや、電荷をさらに低減するための接地壁も備えています。AMAT DPS IIは、高性能回路の製造において信頼性の高いツールであることが証明されており、高度なMEMS（マイクロエレクトロメカニカルマシン）アプリケーションにも使用できます。その堅牢なデザインとユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ユーザーはオペレータの介入を最小限に抑えて優れたエッチングとアッシング性能を実現できます。このツールは信頼性が高く、繰り返し可能で、非常にユーザーフレンドリーです。難易度の高い材料でも高精度のエッチングとアッシング結果を提供し、デバイス製造に最適なツールです。