中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9255367 を販売中
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ID: 9255367
ウェーハサイズ: 12"
Poly etcher, 12"
ADVANCED ENERGY Navigator 3013 Source matcher, 3155132-004
ADVANCED ENERGY Navigator 1513 Bias matcher, 3155126-020
ADVANCED ENERGY APEX 3013 Source generator, 3156113-006
ADVANCED ENERGY APEX 1513 Bias generator, 3156110-005
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A100L Load lock pump
PC: Pentium 4
Chamber A, B and C:
ESC, 0041-26723
Ceramic lid, 0200-06404
Hub, 0200-04969
Gas nozzle, 0050-88146
Quartz single ring, 0200-04619
Insulator, Quartz, 0200-36034
Lower chamber liner, 0040-43977
Upper chamber liner, 0040-81156
Cathode liner, 0021-26273
Plasma screen, 0021-26274
Lift pin, 0200-04593
Plasma screen screw cover, 0200-00933
SLD Door, 0020-89739
TGV, 0190-29611
High voltage module, 0190-23905
Lid heater, 0090-04235
FE-ICP, 0010-37963
Source outer coil capacitor, 0630-00665
TGN Gas line, 0050-88146
Gas nozzle lower clamp, 0041-10491
Gas nozzle upper clamp, 0041-10490
PCB Water leak detector, 0190-02076
Interlock module, 0190-17964
CPCI 3U Quad serial communication, 0190-23509
CPCI48 Digital 48 I/O, 0190-07450
CPCI 32/16 Analog 32/16 I/O, 0190-22967
Dnet BUS scanner, SST CPCI, 0190-16926
SBC C400MHZ 3U 4HP 64M RAM Vx works, 0190-24007
One slot 3U Power supply, 0190-07502
Helium controller (IHC) assy, 0010-07061
Heater controller, 0190-26495
EyeD SRM, 0190-28658
EyD Fiber optic cable, 0190-19764
EPD Window point, 0200-02160
Manometer window port, 0200-39135
Chamber D:
Throttle valve, 3870-03335
SLD Door, 0040-47461
Temperature controller, 0010-19317
Interlock module axiom, 12", 0190-15733
DIP Board, 0190-07450
AIO Board, 0190-22967
D-Net scanner board, 0190-16926
SBC Board, 0190-24007
Power supply board, 0190-07502
Serial communication board, 0190-23509
Pedestal, 0010-34860
Lift pin, 0021-43884
Top cap, GDP, Axiom HT, 0200-02980
Liner, side GDP, Axiom HT, 0200-02981
Lower GDP, HT2, Axiom, 0200-02272
Insert quartz glass, 3350-00048
Single ring, 0020-47977
Gas configuration:
Chamber A:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 500
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber B:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 1000
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 500
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 400
Chamber C:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 300
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 300
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIは、誘導結合プラズマ（ICP）エッチング装置です。シングルベゼルバッチエッチング、高いプロセス均一性、高スループットなどの機能を備えた、ハイエンド、大規模、誘導結合エッチング（ICE）システムです。AMAT DPS IIは、4つのフロースルーチャンバーを搭載した最上位のエッチングユニットです。これらのチャンバーは、有機誘電体や金属膜、ハードマスク、エピタキシャル、ウェーハ抵抗層など、さまざまな材料をエッチングするように設計されています。このツールは、1つまたは複数のチャンバーモードで最大4つのレイヤーを同時にエッチングするように設定できます。APPLIED MATERIALS DPS IIは、お客様やOEMのレシピに基づいた統合データベースを備えた高度なプロセス制御技術も備えています。これにより、アセットは優れたエッチングの均一性、高いスループット、明確なプロセスパラメータを実現できます。DPS IIには、CF4-based ‘hard mask’エッチング、レジストエッチング、マイクロ波ベースのカーボンエッチングなどXeF2-based幅広いエッチング化学製品があります。このモデルの化学的能力と柔軟性により、ユーザーはシリコンからGaAs以降のさまざまな材料をエッチングすることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIには、高度な電圧源Intelligent Power Supplyも搭載されており、調整可能な電力、周波数、補償機能を提供し、精密で再現可能なエッチングを可能にします。装置はさまざまなプロセスシミュレーションソフトウェアツールと統合でき、エッチングプロセスの正確なバーチャルモデルを提供し、プロセスの最適化を支援します。AMAT DPS IIは、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス部品の製造において重要なツールであることが証明されています。その柔軟性、ユーザーフレンドリーなインターフェース、高レベルのプロセス能力により、半導体および光電子アプリケーション向けの高性能で信頼性の高い部品の製造に必要な複雑なプロセスの重要な部分となります。
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