中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9255366 を販売中
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ID: 9255366
ウェーハサイズ: 12"
Poly etcher, 12"
ADVANCED ENERGY Navigator 3013 Source matcher, 3155132-004
ADVANCED ENERGY Navigator 1513 Bias matcher, 3155126-020
ADVANCED ENERGY APEX 3013 Source generator, 3156113-006
ADVANCED ENERGY APEX 1513 Bias generator, 3156110-005
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A100L Load lock pump
PC: Pentium 4
Chamber A, B and C:
ESC, 0041-26723
Ceramic lid, 0200-06404
Hub, 0200-04969
Gas nozzle, 0050-88146
Quartz single ring, 0200-04619
Insulator, Quartz, 0200-36034
Lower chamber liner, 0040-43977
Upper chamber liner, 0040-81156
Cathode liner, 0021-26273
Plasma screen, 0021-26274
Lift pin, 0200-04593
Plasma screen screw cover, 0200-00933
SLD Door, 0020-89739
TGV, 0190-29611
High voltage module, 0190-23905
Lid heater, 0090-04235
FE-ICP, 0010-37963
Source outer coil capacitor, 0630-00665
TGN Gas line, 0050-88146
Gas nozzle lower clamp, 0041-10491
Gas nozzle upper clamp, 0041-10490
PCB Water leak detector, 0190-02076
Interlock module, 0190-17964
CPCI 3U Quad serial communication, 0190-23509
CPCI48 Digital 48 I/O, 0190-07450
CPCI 32/16 Analog 32/16 I/O, 0190-22967
Dnet BUS scanner, SST CPCI, 0190-16926
SBC C400MHZ 3U 4HP 64M RAM Vx works, 0190-24007
One slot 3U Power supply, 0190-07502
Helium controller (IHC) assy, 0010-07061
Heater controller, 0190-26495
EyeD SRM, 0190-28658
EyD Fiber optic cable, 0190-19764
EPD Window point, 0200-02160
Manometer window port, 0200-39135
Chamber D:
Throttle valve, 3870-03335
SLD Door, 0040-47461
Temperature controller, 0010-19317
Interlock module axiom, 12", 0190-15733
DIP Board, 0190-07450
AIO Board, 0190-22967
D-Net scanner board, 0190-16926
SBC Board, 0190-24007
Power supply board, 0190-07502
Serial communication board, 0190-23509
Pedestal, 0010-34860
Lift pin, 0021-43884
Top cap, GDP, Axiom HT, 0200-02980
Liner, side GDP, Axiom HT, 0200-02981
Lower GDP, HT2, Axiom, 0200-02272
Insert quartz glass, 3350-00048
Single ring, 0020-47977
Gas configuration:
Chamber A:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 70
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 200
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber B:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 200
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber C:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 1000
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 100
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 200
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIは、マイクロエレクトロニクスアプリケーションで優れた表面結果を生成するように設計された高度なエッチング/灰の装置です。このシステムは、マルチチャンバー超高真空処理チャンバ、独自のアブレーション技術、および高度なセンサパッケージで構成されています。AMAT DPS IIは、湿式および乾式エッチング、アッシングおよび沈着プロセスのタイトなプロセス制御に最適です。アプライドマテリアルズDPS IIは、誘電体および半導体材料のエッチング、アッシング、沈着用に特別に設計されました。超高真空チャンバーは、アウトガスを最小限に抑える10-8 Torr以下の圧力とカーボンレースウォールライナーを実現することができます。高度なアブレーション技術により、ユニットパフォーマンスがさらに向上し、プロセスパラメータの正確な制御と信頼性の高いプロセス再現性が可能になります。DPS IIの高度なセンサパッケージは、プロセスパラメータの正確な制御を保証します。温度、圧力、RFパワーモニタリング用の2つの独立したコントローラと4つのパイロメータで構成されています。さらに、3つの熱電対と4つのデジタル制御マスフローコントローラにより、繰り返し可能で安定したプロセス制御が保証されます。さらに、優れたウェーハの向き検出、精密なウェーハ操作、およびウェーハ方向の冷却を提供するエッジマシンを備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIの独自のセンサパッケージは、チャンバの優れた温度均一性と安定性、スループットの向上、表面品質の向上など、さまざまな利点を提供します。さらに、高度なアブレーション技術により、精密で反復可能なエッチング、アッシング、沈着プロセス制御が可能です。さらに、マルチチャンバー設計により、複数のエッチング/アッシュプロセスを1つのツールに統合でき、時間とコストを節約できます。全体として、AMAT DPS IIは、マイクロエレクトロニクスのアプリケーションで優れた表面結果を提供するように設計された高度なエッチング/アッシュ資産です。その超高真空チャンバー、ユニークなアブレーション技術、および高度なセンサーパッケージは、正確で再現性のあるプロセス制御を保証します。さらに、マルチチャンバーモデル設計により、単一の機器に複数のエッチング/アッシュプロセスを統合することができ、コストを最小限に抑えながらスループットを向上させます。
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