中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9253348 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIは、様々な材料表面上の複雑なパターンや形状の作成に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。ハードメタル、シリコンウェーハ、薄膜材料など様々な表面に作用する化学ドライエッチング工程です。AMAT DPS IIは、デュアルビームドライエッチャーであるため、エッチャーの世界ではユニークです。これは、軽いビームと重いビームの両方で同時にエッチングすることができ、単一のビームエッチャーよりもはるかに正確なパターニングを可能にすることを意味します。両方のビームで、パターンは非常に細かい特徴で作成することができ、約1 µmの深さにエッチングすることができます。さらに、2つの別々のビームにより、2つの別々のパラメータを使用することができます。最初のパラメータはエッチングの幅と深さを定義するために使用でき、2番目のパラメータは目的のエッチングレートとエッチング選択性を選択するために使用できます。アプライドマテリアルズDPS IIは、等方性エッチング、異方性エッチング、発達エッチングなど、多くのエッチング処理を行うことができます。等方性エッチングは、エッチング率がすべての方向で等しいプロセスです。異方性エッチングとは、エッチング率が各方向で変化し、角度のあるパターンになるパターンを作成するプロセスです。発達エッチングは、エッチング速度が一方向に調節可能であるため、段落パターンが生じる場合です。DPS IIの他の機能には、フッ素、窒素、塩素、アルゴンなど幅広いガスから選択できるほか、すべてのエッチングをステップバイステップで正確に制御し、シングルノブのユーザーフレンドリーなインターフェースで動作する内蔵マイクロプロセッサがあります。システムには高解像度のカメラもあり、エッチング中に素早く調整できます。さらに、緊急時の消耗システムや過熱を防ぐ温度監視など、いくつかの安全機能を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIは、比類のない精度と柔軟性を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。そのデュアルビーム設計、高解像度カメラ、ガスの範囲は、顕著な精度と速度で様々な表面材料上の複雑なパターンや形状を作成するための強力なツールになります。その組み込みの安全機能は追加のセキュリティを提供し、正確なエッチングとアッシングの結果を求める人に最適です。