中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9205693 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIは、集積回路の製造用に設計された高度なアッシャー/エッチャーシステムです。この機械は化学薬品かプラズマによって活動化させる反作用を通してウェーハをエッチングし、きれいにするのに使用されています。先進的な設計と高いスループット、さまざまな基板や材料との完全な互換性など、いくつかの異なる利点があります。AMAT DPS IIは高出力バンドを可能にする効率的で堅牢な構造を備えています。このマシンは、プロセス中に各ウェーハをホストすることができ、独立して操作されたヘッドの数を備えたメイン真空チャンバーで構成されています。単一のインラインまたはデュアルループのプロセスチャンバーを備えており、ウェーハの洗浄とウェーハの正確な位置決めのための統合されたウェーハトラックが可能です。APPLIED MATERIALS DPS IIは、高度でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、簡単で直感的な操作を可能にします。このシステムは手動モードまたは自動モードで動作するため、エッチングおよびアッシングプロセスを柔軟に制御できます。そのユーザーフレンドリーなオペレータインターフェイスはまた、迅速な診断とプロセスレシピの生成と編集を可能にします。DPS IIの重要な利点は、幅広いプロセス能力であり、さまざまな基板や材料から高品質のプロセス結果を得ることができます。これは、エッチング、アッシング、ウェハクリーニングを含む包括的なプロセスライブラリによるものです。これにより、各ウェハが最適な結果を得るために処理されます。また、正確な温度制御、高速安定化、ウェーハ冷却などのユニークな機能も備えています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIには複数のガスバルブが搭載されているため、片面および両面エッチングに幅広いエッチングおよびクリーニングガスを使用できます。AMAT DPS IIは、高度で高効率なエッチャーとアッシャーで、最も要求の厳しいウェーハ処理作業用に設計されています。これは、すべてのプロセス要件のニーズを満たすための汎用性と柔軟性を提供し、シンプルなユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。
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