中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9204534 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIエッチャー/アッシャーは、厚膜および薄膜材料の精密エッチング用に設計された信頼性の高い高性能プラズマエッチング装置です。高いスループットを実現し、各種材料の専用エッチングとアッシングの両方を可能にします。AMAT DPS II Etcher/Asherはマルチチャンバーアーキテクチャを備えており、高速なサイクルタイムを提供し、複数のウェーハをより短時間で処理できます。ウェーハキャリアは、別々のチャンバーをすばやく切り替えるように設計されており、効率的なスループットを実現します。すべての独立したチャンバーには独立したRFジェネレータが搭載されており、各サイクルに最適なプロセス条件を提供します。エッチングプロセスは、あらゆるサイクルで最高の結果と最大の歩留まりを提供するために細かく調整することができます。システムは正確な位置制御を提供し、可変的な圧力制御機能を可能にします。プラズマ品質を維持し、最高のエッチング率を提供するために、プラズマ最適化ユニットが含まれています。さらに、自動化されたプロセスレシピ、診断、プロセス管理機能を備えたフルスイートにより、APPLIED MATERIALS DPS II Etcher/Asherを簡単に使用できます。DPS IIエッチャー/アッシャーは非常に信頼性の高い機械であり、高精度のエッチングおよびアッシングプロセスの製造に適しています。このツールは、プロセスの再現性を考慮して設計されており、あらゆるサイクルで一貫した結果を得るために、さまざまなセンサーと診断ツールが装備されています。アセットはまた、選択可能な再起動機能によりダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Etcher/Asherは、信頼性の高い再現可能なエッチング/アッシングモデルを生産プロセスに必要とするユーザーに最適なソリューションです。精密なエッチング結果を提供し、最高レベルのプロセス制御とスループットを提供します。この装置は使いやすく、再現性を考慮して設計されており、より高い歩留まりを実現するための強化されたプラズマ品質を提供します。